Verhindern Sie, dass Ihre Heizelemente Ihre Wafer beschädigen
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, wissen Sie bereits, dass Luftfilter nur die Hälfte der Arbeit übernehmen. Das eigentliche Problem sind die Heizelemente – sie können eine Quelle für Ausdünstungen und Partikel sein, gerade dann, wenn man es am wenigsten gebrauchen kann.
Deshalb verwenden wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz. Dadurch bleiben die schädlichen Stoffe von Ihren Wafern fern.
Die Probleme mit den Materialien
Standardquarz enthält in der Regel Verunreinigungen. Wenn die Temperatur steigt, verdampfen diese Verunreinigungen. Das ist nicht gut. Wir verwenden daher hochreines Silizium – so wird verhindert, dass die Lampenhülle bei jedem Temperaturwechsel Partikel abgibt. Zudem sorgen wir dafür, dass der Quarz widerstandsfähig gegen schnelle Temperaturänderungen ist. Dadurch entstehen keine Risse oder Glassplitter – und auch kein mikroskopisch kleiner Staub gelangt in den Prozessraum.
Die richtige Hitze
Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahlung, denn diese erreicht die Oberfläche des Wafer sehr schnell. Je schneller das Wafer erwärmt wird, desto kürzer bleibt es in diesen extremen Temperaturen. Das ist ein großer Vorteil – dadurch wird das Risiko ungewünschter chemischer Reaktionen auf dem Substrat verringert.
Präzision ist hier wichtig. Wenn Sie mit einem 300-mm-Werkzeug arbeiten, müssen Länge und Leistung der Lampe perfekt zu Ihrer Stromversorgung passen. Andernfalls entstehen Hotspots. Und wenn die Leistung zu hoch ist und es keine ausreichenden Kühllüfter gibt, um die Wärme vom Lampenkopf wegzutransportieren, werden die Filamente viel zu früh zerstört.
Ersetzen der Lampen – und ihr Überleben sichern
Wir verwenden Standardanschlüsse – somit können die Lampen einfach ausgetauscht werden. Sie müssen nicht den ganzen Nachmittag damit verbringen, wieder ganze Lampen anzuschließen, nur um eine defekte Lampe auszutauschen.
Aber eine Warnung: Hochreiner Quarz ist empfindlich gegenüber Hautölen. Eine einzige Fingerkuppe kann bereits einen Stresspunkt erzeugen. Bitte tragen Sie beim Einbau dieser Lampen fingerfreie Handschuhe. Wenn Öl auf den Quarz gelangt, entstehen Fehlerpunkte, und die Lampe versagt bereits lange bevor die Filamente wirklich kaputtgehen. Es handelt sich dabei um eine kleine Maßnahme, die jedoch viel Frust erspart.