Verhindern Sie, dass Ihre Ausrüstung schmilzt: Eine bessere Methode zum Erwärmen von Wafern
Wenn Sie bereits eine Infrarotheizanlage für Halbleiterwafer eingesetzt haben, kennen Sie die Probleme, die damit verbunden sind. Es geht nicht darum, die Wafer einfach nur zu erhitzen – das ist der einfache Teil. Das eigentliche Problem besteht darin, zu verhindern, dass Ihre teure Ausrüstung all diese Hitze aufnimmt.
Herkömmliche Infrarotlampen strahlen Energie in alle Richtungen ab. Wenn man sie einfach so einsetzt, beginnen die Innenwände der Prozesskammer zu überhitzen. Das stellt nicht nur eine Sicherheitsgefahr für die Personen dar, die neben der Maschine stehen, sondern kann auch dazu führen, dass das Gehäuse der Ausrüstung beschädigt wird. Das sieht natürlich nicht gut aus.
Die Hitze gezielt lenken
Wir lösen dieses Problem durch den Einsatz von Richtungs-IR-Technologie. Anstatt einfach einen herkömmlichen Quarzrohr zu verwenden, nutzen wir Reflektoren oder spezielle Beschichtungen, um die Energie genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer.
Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer herkömmlichen Glühbirne und einer Taschenlampe vor. Durch die Verengung des Lichtstrahls wird verhindert, dass die „ungewollte“ Strahlung die Wände trifft. Die Hitze bleibt somit bei den Wafern, während der Rest der Maschine kalt bleibt.
Die richtige Entfernung finden
Es ist wichtig, die richtige Entfernung zwischen der Lampe und den Wafern zu finden. Wenn die Lampe zu nah angebracht ist, entstehen heiße Punkte auf den Wafern. Ist sie wiederum zu weit entfernt, wird Energie verschwendet. Wir ermitteln in der Regel die sichere Entfernung, indem wir die Leistung der Lampe sowie die Reaktion der Kammerwände auf die Hitze berücksichtigen.
Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem: Eine engere Anordnung bedeutet, dass die Wafer schneller auf Temperatur kommen. Doch dadurch entsteht auch mehr Druck auf die Kühlsysteme. Wenn das Kühlsystem mit dem Temperaturanstieg nicht mithalten kann, gehen die Lampen viel früher kaputt.
Sicherheit gewährleisten
Der Vorteil der Richtungsheizung ist, dass das Außengehäuse kühl bleibt. Man kann es also berühren, ohne zurückzuschrecken. Dadurch können Sie auf die schweren Schutzschilde verzichten, die oft im Weg beim Umgang mit den Wafern sind. So sieht Ihre Anlage ordentlicher aus – und Ihr Arbeitsplatz ist sicherer.
Achtung: Je stärker Sie den Lichtstrahl bündeln, desto wichtiger ist es, die Ausrichtung präzise zu kontrollieren. Wenn sich die Lampe auch nur um wenige Millimeter verschiebt, kann die Hitze von den Wafern abweichen und stattdessen auf einen Stützpfeiler treffen. Halten Sie die Lampe in der richtigen Position – dann funktioniert alles einwandfrei.