Ngừng việc làm nóng không khí: Cách hiệu quả hơn để xử lý các quy trình công nghệ bán dẫn
Hãy thừa nhận rằng các lò nung truyền thống tiêu tốn rất nhiều năng lượng. Bạn phải chi một lượng điện khổng lồ chỉ để làm nóng toàn bộ không gian bên trong lò, trong khi phần lớn lượng nhiệt này thậm chí còn không tác động lên wafer. Đó là sự lãng phí năng lượng, và cũng gây ảnh hưởng xấu đến môi trường.
Chúng tôi đã tìm ra cách tốt hơn. Thay vì làm nóng toàn bộ không gian, chúng tôi sử dụng các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không, giúp truyền nhiệt trực tiếp vào vị trí cần thiết.
Tại sao tia hồng ngoại lại hiệu quả?
Tia hồng ngoại không cần không khí hay bất kỳ chất truyền nhiệt nào khác để truyền nhiệt. Trong môi trường chân không, đây là cách duy nhất để truyền nhiệt đến nơi cần thiết mà không cần phải vượt qua các quy luật vật lý. Chúng tôi điều chỉnh bước sóng của tia hồng ngoại sao cho chúng phù hợp với khả năng hấp thụ của silic và các vật liệu liên quan. Nhờ đó, bạn không cần phải lãng phí năng lượng để làm nóng các bức tường của lò nữa; nhiệt lượng sẽ được truyền trực tiếp vào wafer.
Cân bằng giữa công suất và nhiệt độ
Nếu bạn muốn xử lý vật liệu một cách nhanh chóng, bạn cần sử dụng các bộ sưởi có công suất cao. Nhưng bạn cũng không thể tăng công suất quá mức. Nếu bạn sử dụng quá nhiều công suất trong một không gian nhỏ, bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt được phản xạ lại. Nếu không, lớp kín của lò sẽ bị hư hỏng, điều này gây ra nhiều vấn đề.
Điều quan trọng là tìm được sự cân bằng giữa điện áp và công suất, để các bộ sưởi không bị hỏng trong quá trình sản xuất.
Tạo ra “Nhà máy xanh” thực sự
Lợi ích lớn nhất khi sử dụng tia hồng ngoại là thời gian làm nóng giảm từ vài giờ xuống còn vài giây. Đó chính là cách giúp tiết kiệm năng lượng một cách hiệu quả. Bạn không cần phải chờ đợi nửa ca làm việc chỉ để chuẩn bị thiết bị.
Ngoài ra, bạn còn có thể kết nối các hệ thống này với bộ điều khiển để duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer, mà không cần phải sử dụng những khối kim loại lớn để giữ nhiệt. Đối với các kỹ sư muốn đạt được các tiêu chuẩn “Nhà máy xanh”, đây chính là giải pháp đơn giản nhất. Hãy ngừng việc làm nóng không khí, sử dụng tia hồng ngoại để truyền nhiệt trực tiếp, từ đó giảm mức tiêu thụ năng lượng và đạt được mục tiêu bền vững.