Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ trên bề mặt wafer thay đổi 0,2°C thôi cũng đủ để làm mất kiểm soát độ dày của lớp phim quang học và gây ra những sai lệch trong quá trình xử lý. Khi bộ sưởi chân không Leybold hoạt động kém hiệu quả, bạn không chỉ mất đi sản lượng sản phẩm mà còn phải tiêu tốn nhiều giờ lao động vào việc khắc phục những vấn đề phát sinh. Chúng tôi sản xuất các bộ phận thay thế cho bộ sưởi chân không Leybold nhằm giúp thiết bị hoạt động lại như ban đầu, với độ ổn định nhiệt cao, để có thể duy trì được quy trình sản xuất 24/7.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Điều quan trọng nhất chính là độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer, với độ sai lệch không quá ±0,1°C trong vùng được làm nóng. Việc kiểm soát này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong quá trình xử lý, từ đó giúp giảm thiểu các khiếm khuyết phát sinh khi nhiệt độ thay đổi. Các vật liệu và cấu trúc của bộ phận thay thế này được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch, phù hợp với tiêu chuẩn Class 1–100. Chúng cũng không tạo ra bụi trong quá trình hoạt động. Mỗi bộ phận thay thế đều tương thích với bộ sưởi chân không Leybold về mặt kết cấu và chức năng, giúp hệ thống duy trì được độ ổn định nhiệt như ban đầu.
Điều này rất quan trọng trong quy trình in ấn litography và xử lý phim quang học: độ ổn định nhiệt chính là yếu tố quyết định liệu quy trình có diễn ra suôn sẻ hay không. Với các bộ phận thay thế này, các thông số nhiệt độ sẽ được duy trì ở mức ổn định. Độ nhám của các đường viền cũng dễ kiểm soát hơn, giúp giảm thiểu lượng sản phẩm bị hỏng do việc xử lý quá mức hoặc chưa đủ. Số lượng sản phẩm cần sửa chữa cũng giảm đi. Năng suất sản xuất vẫn ổn định. Bạn cũng không cần lãng phí năng lượng vào việc điều chỉnh nhiệt độ để bù đắp cho những sai lệch phát sinh.
Một vài lưu ý thực tế: Để đảm bảo độ ổn định nhiệt, hãy điều chỉnh góc lắp đặt sao cho chính xác, giữ cho các bề mặt tiếp xúc sạch sẽ, và kiểm tra kỹ vị trí đặt dây nhiệt. Sau khi thay thế, hãy tiến hành kiểm tra nhanh – thường là chỉ cần kiểm tra một lô sản phẩm – để xác nhận lại độ ổn định nhiệt và hiệu suất của các bộ phận thay thế. Đồng thời, đừng vận hành thiết bị ở mức chân không không phù hợp hoặc với các bộ phận đóng kín đã hỏng; điều này sẽ làm mất đi độ ổn định nhiệt mà bạn mong muốn. Hãy kết hợp việc sử dụng các bộ phận thay thế này với công tác bảo trì định kỳ cho buồng sản xuất, để duy trì độ ổn định nhiệt như mong muốn.