Ngăn chặn các bộ phận gia nhiệt gây hại cho các tấm wafer của bạn
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rằng các bộ lọc không khí chỉ giúp loại bỏ một nửa lượng bụi bẩn thôi. Vấn đề thực sự nằm ở các bộ phận gia nhiệt – chúng có thể là nguồn gây ra việc phát sinh khí độc và các hạt bụi ngay khi bạn ít mong muốn nhất.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao để chế tạo các bóng đèn IR. Điều này giúp ngăn chặn sự xuất hiện của các hạt bụi trên các tấm wafer.
Vấn đề liên quan đến vật liệu
Thạch anh thông thường thường chứa nhiều tạp chất. Khi nhiệt độ tăng cao, những tạp chất này sẽ bay hơi. Điều này rất nguy hiểm. Chúng tôi chỉ sử dụng silic có độ tinh khiết cao, để tránh tình trạng các hạt bụi xuất hiện mỗi khi nhiệt độ thay đổi. Chúng tôi cũng đảm bảo rằng thạch anh được xử lý kỹ lưỡng để có thể chịu được những chu kỳ nóng lên và nguội xuống nhanh chóng. Như vậy, sẽ không có hiện tượng nứt vỡ hay các mảnh vỡ thủy tinh, cũng như không có bụi vi mô lọt vào buồng xử lý.
Kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác
Chúng tôi sử dụng ánh sáng IR bước sóng ngắn, vì nó có thể chiếu trực tiếp lên bề mặt tấm wafer. Càng nhanh chóng làm nóng tấm wafer, thì thời gian mà tấm wafer phải chịu nhiệt độ cao càng ít. Điều này giúp giảm nguy cơ xảy ra các phản ứng hóa học bất thường trên bề mặt tấm wafer.
Độ chính xác rất quan trọng ở đây. Nếu bạn sử dụng dụng cụ có kích thước 300mm, thì chiều dài và công suất của bóng đèn phải hoàn toàn phù hợp với nguồn điện cung cấp. Nếu không, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Nếu công suất bóng đèn quá cao mà không có hệ thống làm mát phù hợp, thì sợi dây tóc của bóng đèn sẽ mau chóng bị cháy.
Thay thế bóng đèn và duy trì hoạt động ổn định
Chúng tôi sử dụng các cổng kết nối tiêu chuẩn, vì vậy việc thay thế bóng đèn rất dễ dàng. Bạn không cần phải mất nhiều thời gian để sửa chữa lại toàn bộ hệ thống chỉ để thay thế một bóng đèn bị hỏng.
Nhưng xin lưu ý: thạch anh có độ tinh khiết cao rất nhạy cảm với dầu trên da. Chỉ cần một dấu vân tay cũng có thể gây ra những vết nứt trên bề mặt thạch anh. Vì vậy, hãy sử dụng găng tay không chứa bụi khi lắp đặt bóng đèn. Nếu dầu dính vào thạch anh, nó sẽ nhanh chóng bị hỏng. Đây là một bước nhỏ nhưng có thể giúp bạn tránh được nhiều phiền toái.