Đừng để một chiếc bóng đèn hỏng phá hủy toàn bộ sản phẩm của bạn
Trong quá trình sản xuất MEMS với khối lượng lớn, chỉ cần một chiếc bóng đèn hỏng thôi cũng có thể làm hỏng cả tuần làm việc của bạn. Nếu ống hồng ngoại bị vỡ, bạn không chỉ phải đối mặt với tình trạng ngừng hoạt động, mà còn phải đối mặt với những mảnh thủy tinh và các hạt kim loại rơi trực tiếp lên các tấm wafer của bạn. Đó quả là một cơn ác mộng. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các thiết bị sưởi ấm hồng ngoại theo cách này – để đảm bảo rằng một sự cố nhỏ cũng không thể gây ra thảm họa.
Tại sao các ống hồng ngoại lại bị vỡ?
Các bóng đèn có công suất cao sẽ sản sinh ra nhiệt lượng cực lớn. Khi chúng ta buộc chúng phải hoạt động trong điều kiện nhiệt độ cao, các chi tiết kết nối sẽ bị tổn thương do áp lực nhiệt. Thêm vào đó, nếu có chút tạp chất trong thủy tinh hoặc xảy ra sự thay đổi đột ngột về điện áp, thì ống thủy tinh sẽ vỡ. Trong trường hợp này, các mảnh vỡ sẽ rơi trực tiếp xuống các tấm wafer của bạn.
Làm thế nào để kiểm soát tình trạng này?
Chúng tôi sử dụng phương pháp hai bước để giải quyết vấn đề này. Thứ nhất, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này bền hơn và có khả năng chịu được áp lực nhiệt tốt hơn. Thứ hai, chúng tôi đặt bộ phận gia nhiệt bên trong một lớp vỏ bảo vệ bằng thủy tinh hoặc vật liệu cứng. Điều này giúp bảo vệ các tấm wafer khỏi các mảnh vỡ. Chúng tôi cũng dành nhiều thời gian để tối ưu hóa các kết nối điện. Chúng tôi sử dụng các công tắc kết nối chính xác, vì sự cố điện áp có thể gây hư hại cho các ống thủy tinh. Nếu khắc phục được vấn đề kết nối, chúng ta có thể ngăn chặn sự cố trước khi nó xảy ra.
Sự hy sinh cần chấp nhận
Việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ sẽ tạo ra một rào cản vật lý giữa nguồn nhiệt và các tấm wafer. Điều này khiến hiệu quả sưởi ấm giảm đi một chút. Bạn có thể cần tăng công suất hoặc để các tấm wafer nghỉ thêm vài giây để chúng khô hẳn. Nhưng thực ra, đó là cái giá mà tôi sẵn sàng trả mỗi lần. Việc mất đi 5% hiệu suất sưởi ấm thì chẳng là gì so với việc mất đi những chiếc cảm biến trị giá 50.000 đô la chỉ vì một chiếc bóng đèn bị vỡ.
Hãy đảm bảo rằng bạn sử dụng các thiết bị có hệ thống điều chỉnh điện áp ổn định. Điều này sẽ giúp các ống thủy tinh hoạt động lâu hơn và đảm bảo hiệu suất sản xuất ở mức tốt nhất.