Wafer’ın Doğru Şekilde Isıtılması
Eğer yarı iletken üretim odalarında biraz zaman geçirdiyseniz, bunun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Isıtma sistemlerinin wafer üzerinde eşit şekilde etki etmesi gerekiyor; ancak herhangi bir kirlilik durumunda her şey berbat olabilir. Bu oldukça hassas bir iş. Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanmaya başlar; ancak sorun şu ki bunlar kızılötesi ışınların büyük bir kısmını emerler. Yani aslında wafer’e ulaşmayan enerji için para ödemiş oluyorsunuz.
İşte burada altın kaplamalar devreye giriyor.
Neden Altın?
Kulağa lüks gibi geliyor, ancak aslında bu fizikle ilgili bir durum. Altın, uzun dalga boyundaki kızılötesi radyasyonun yaklaşık %98’ini yansıtır. Bunu şöyle düşünün: Isı, aracın gövdesine sızıp enerjiyi boşa harcamak yerine, altın tabaka o fotonları doğrudan wafer üzerine yansıtır. Böylece ihtiyaç duyulan yerde daha fazla ısı elde edilir ve güç tüketimi artmaz. Sonuçta bu oldukça verimli bir yöntemdir.
Isının Kontrolü
İşin zor kısmı burası. Yüksek güçlü kızılötesi lambalar çok fazla ısı üretir. Eğer yansıtıcının geometrisi birkaç milimetre bile yanlış olursa, sıcak noktalar oluşur. Ve sıcak noktalar, wafer’in bozulmasına neden olur. Her şeyin temiz kalması için yüksek saflıkta kuvars lambalar kullanılır. Hiçbir gaz salınımı olmaz, karışıklık da olmaz.
Ancak soğutmaya dikkat etmek gerekiyor. Altın yansıtıcılar o kadar fazla enerji yansıttığı için, lambanın arka kısmı da aşırı ısınabilir. Eğer havalandırma sisteminiz yetersizse, termal sensörler bozulabilir veya daha kötüsü, çevredeki elektronik cihazlar zarar görebilir.
Gerçek Dünyadaki Uygulama
Gerçek üretim ortamında önemli olan şey uyumluluktur. Bunları yerine takılabilir şekilde tasarladık; böylece uzun süreli duruş süreleri yaşamazsınız. Sadece mevcut kontrol cihazlarına bağlamanız yeterli. Hedef sıcaklığa ulaşma süresi de çok daha hızlı olacaktır.
Ancak bir uyarı: Altın, parmak izlerinden nefret eder. Eğer o kaplamanın üzerine cilt yağı bırakırsanız, ısıtma sırasında orası yanar. Bu da kalıcı koyu lekelerin oluşmasına neden olur ve bu da ısı dağılımını bozar. Lütfen onları temiz tutun.