Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten korumak
Eğer Sınıf 100 (ISO 5) standartlarına uygun bir temiz oda işletiyorsanız, tek bir yabancı parçacığın ne kadar büyük sorunlara yol açabileceğini zaten biliyorsunuzdur. Küçük bir oksidasyon parçası veya ısıtıcı elemanlardan kaynaklanan gaz salınımı bile, waferinizi veya optik bileşenlerinizi bozabilir.
Bu tür durumlarda genellikle standart dirençli ısıtıcılar suçlu olur. Bu ısıtıcılar zamanla parçalanır ve oksitlenir; bu tür hassasiyet gerektiren ortamlar için uygun değillerdir. Bu yüzden biz yüksek saflıkta sentetik kuvars infraruj lambalarını tercih ediyoruz.
Kuvarsın neden işe yaradığı
Kabuk olarak erimiş silika kuvars kullanıyoruz. Bunun avantajı, aşırı sıcaklıklarda bile parçalanmaması ve mikroskobik parçacıklar üretmemesidir. Ayrıca, ısı kısa dalga infraruj radyasyonu yoluyla iletilir. Böylece parçanın etrafındaki hava ısınmak yerine enerji doğrudan parçaya aktarılır. Daha az hava hareketi demek, daha temiz bir ürün demektir. Çok basit ve etkili bir yöntemdir.
Kurulumla ilgili detaylar
Bu lambalar çok yüksek ısı yoğunluğunu kaldırabilir. Küçük 100 mm’lik tüplerle hızlı bir şekilde ısı uygulaması yapılabilirken, tüm waferi ısıtmak için 500 mm’lik büyük tüpler de kullanılabilir. Güç seviyesi, mevcut alanın boyutlarına göre ayarlanır.
Dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta ise bağlantı parçalarıdır. Bağlantıların sağlam kalması için R7 veya SK15 tipi bağlantı parçaları kullanılır. Gevşek bağlantılar, ark oluşmasına neden olur ve bu da lambanın zarar görmesine yol açar. Ayrıca, kabloların radyasyon bölgesinden uzakta tutulması gerekir; aksi takdirde izolasyon malzemeleri eriyebilir.
Isıtılacak malzemeye bağlı olarak farklı kaplamalar kullanılabilir. Şeffaf kuvars, doğal kısa dalga gücü sağlar. Ancak eğer sıcak noktalardan endişe ediyorsanız ve daha eşit bir ısı dağılımı istiyorsanız, düzgün bir dağılım sağlamak için ince film kaplamalar ekleyebiliriz.
Alan deneyimlerinden bazı uyarılar
Kuvars lambaları çok hızlı ısınır. Ancak çok sıcak çalışırlar. Eğer yüksek yoğunlukta 2000W’lık bir lambayı dar bir alana yerleştirirseniz, soğutma fanlarının yeterli olması gerekir. Eğer hava lambanın etrafında dolaşmazsa, bağlantı parçaları zarar görebilir. Ayrıca kabloların kontrolünü de iyi yapın; kabloların radyasyon bölgesinden uzakta olmasına dikkat edin.