फैब फ्लोर पर, बेकिंग तापमान में आधा डिग्री का अंतर ही प्रोफाइल को ठीक से तैयार होने से रोक सकता है। यदि आप उत्पादन की गुणवत्ता को बनाए रखना चाहते हैं, तो तापीय नियंत्रण को कोई गौण मुद्दा नहीं माना जा सकता; इसे एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया-पैरामीटर के रूप में ही देखा जाना चाहिए।
पीआईडी-नियंत्रित सेमीकंडक्टर हीटर की विशेषताएँ
हमने इस पीआईडी-नियंत्रित सेमीकंडक्टर हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि यह लिथोग्राफी प्रक्रिया में उपयोग होने वाले उपकरणों के लिए उपयुक्त हो। वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखा जा सकता है, और हर बार एक ही परिणाम प्राप्त होता है। हीटर का डिज़ाइन क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए उपयुक्त है; इसमें ऐसी सामग्रियाँ एवं सतहें उपयोग में आई हैं जिनसे कोई कण न उत्पन्न हो। यह हीटर 24/7 काम कर सकता है, और तापमान की स्थिरता के कारण प्रोफाइल भी स्थिर रहता है।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” ऐसे चरण हैं जिनके द्वारा आकार एवं प्रोफाइल निर्धारित होते हैं। इस हीटर के कारण प्रोफाइलों की सटीकता बनी रहती है, जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। इससे गुणवत्तापूर्ण उत्पाद प्राप्त होते हैं।
कुछ व्यावहारिक सुझाव
यह सिस्टम अच्छी तरह से काम करता है, लेकिन पीआईडी सेटिंग्स को चेंबर के द्रव्यमान, हवा के प्रवाह एवं अन्य पैरामीटरों के अनुसार ही सेट किया जाना चाहिए। कृपया हमें अपने उपकरणों संबंधी सटीक जानकारी दें – ताकि नियंत्रण-पैरामीटर आपके उपकरणों के अनुसार ही सेट हो सकें।
एक बार जब यह सिस्टम काम करने लगे, तो सेंसरों का कैलिब्रेशन भी नियमित रूप से किया जाना चाहिए। ऐसा करने से ही ±0.1°C का लक्ष्य हर दिन पूरा हो पाता है।