फैब फ्लोर पर, आपको तो पता ही है कि क्या करना है। वेफर पर 0.2°C का भी अंतर, लाइनविड्थ नियंत्रण को बिगाड़ सकता है, एवं फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता पर भी असर डाल सकता है। जब लेबोल्ड वैक्यूम हीटर का प्रदर्शन कम हो जाता है, तो न केवल उत्पादन में कमी आती है, बल्कि 24/7 चलने वाली प्रक्रिया में भी समय बर्बाद होता है। हमने ऐसे लेबोल्ड वैक्यूम हीटर स्पेयर्स बनाए हैं, ताकि उपकरण का तापीय व्यवहार वैसा ही रहे, जैसा कि इसके डिज़ाइन में निर्धारित है… ताकि 24/7 उत्पादन में भी इसका उपयोग किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यहाँ महत्वपूर्ण बात वेफर-स्तरीय तापीय समानता है… गर्म होने वाले क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहना चाहिए। ऐसा नियंत्रण ही सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक तापमानों को स्थिर रखता है… जिससे CD बायास स्थिर रहता है, एवं तापीय असंतुलन के कारण होने वाली खामियाँ भी कम हो जाती हैं। इन उपकरणों की सामग्री एवं संरचना “क्लीनरूम-योग्य” है… इनका उपयोग क्लास 1–100 में किया जा सकता है… एवं इनसे कोई कण भी नहीं निकलता। प्रत्येक स्पेयर, लेबोल्ड हीटर के इंटरफ़ेस, टर्मिनल लेआउट एवं थर्मल कपलिंग के अनुरूप ही है… ताकि सिस्टम को वैसा ही तापीय व्यवहार मिल सके, जैसा कि मूल उपकरण में है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में यह क्यों महत्वपूर्ण है? क्योंकि तापमान की स्थिरता ही, पूर्वानुमेय उत्पादन प्रक्रियाओं एवं आपातकालीन मरम्मतों के बीच का अंतर है। ऐसे स्पेयर्स के उपयोग से बेकिंग प्रक्रिया नियंत्रण में रहती है… लाइन-एज़ रफनेस को भी आसानी से नियंत्रित किया जा सकता है… एवं अपर्याप्त/अत्यधिक क्यूरिंग के कारण होने वाला अपशिष्ट भी कम हो जाता है। रीवर्क की आवश्यकता भी कम हो जाती है… एवं उत्पादन दर भी स्थिर रहती है। ऐसे में, तापीय असंतुलन की भरपाई हेतु ऊर्जा बर्बाद होने से भी बचा जा सकता है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव: तापीय प्रोफ़ाइल को बनाए रखने हेतु, माउंट को सही तरीके से जोड़ें… मैचिंग सतहों को साफ रखें… एवं थर्मोकपलों की स्थिति की भी जाँच करें। बदलाव के बाद, एक बार फिर जाँच करें… ताकि तापीय प्रोफ़ाइल फिर से स्थिर हो जाए… एवं कणों का प्रभाव भी जाँचा जा सके। निर्धारित वैक्यूम स्तर से बाहर न चलें… एवं ऐसे चेंबर सीलों का उपयोग भी न करें, जो अपनी उम्र सीमा से बाहर हों… क्योंकि ऐसी स्थितियों में तापीय समानता बनी नहीं रहेगी। स्पेयर्स का उपयोग नियमित चेंबर रखरखाव के साथ करें… ताकि आप हमेशा नियंत्रण में ही रह सकें।