Comment chauffer correctement la wafer
Si vous avez déjà passé du temps dans une salle de nettoyage pour semi-conducteurs, vous savez à quel point c’est compliqué. Il est nécessaire que le chauffage soit parfaitement uniforme sur toute la surface de la wafer, mais il ne faut surtout pas qu’il y ait de contamination qui vienne perturber ce processus. C’est comme marcher sur une corde raide. La plupart des gens commencent par utiliser des réflecteurs en aluminium, mais le problème, c’est qu’ils absorbent trop de rayonnement infrarouge. En fait, on paie pour de l’énergie qui n’atteint jamais la wafer.
C’est là que les revêtements en or entrent en jeu.
Pourquoi l’or ?
Ça semble luxueux, mais en réalité, c’est juste une question de physique. L’or reflète environ 98 % des rayonnements infrarouges à longue longueur d’onde.
Pensez-y de cette manière : au lieu que la chaleur s’échappe dans le châssis du dispositif, la couche d’or renvoie ces photons directement sur la wafer. Ainsi, vous obtenez plus de chaleur exactement là où vous en avez besoin, sans avoir à augmenter la puissance. C’est efficace. Simplement.
Gérer la chaleur
Voici la partie difficile. Les lampes IR à haute puissance génèrent une forte densité de chaleur. Si la géométrie des réflecteurs n’est pas parfaite, même de quelques millimètres, cela peut entraîner des points chauds. Or, des points chauds peuvent déformer la wafer.
Pour éviter cela, nous utilisons des lampes en quartz de haute pureté. Pas de dégazage, pas de saleté.
Mais veillez bien à la ventilation. Comme les réflecteurs en or renvoient beaucoup d’énergie vers l’avant, l’arrière de la lampe peut devenir extrêmement chaud. Si la ventilation n’est pas suffisante, cela peut endommager les capteurs thermiques ou, pire encore, les composants électroniques adjacents.
Configuration en pratique
En pratique, tout dépend de l’alignement. Nous avons conçu ces dispositifs pour être utilisés directement comme remplacement, afin d’éviter des heures d’arrêt inutiles. Il suffit de les connecter aux contrôleurs existants, et c’est prêt.
Vous remarquerez que le temps nécessaire pour atteindre la température souhaitée est beaucoup plus court.
Une dernière chose : l’or déteste les empreintes digitales. Si vous laissez des traces de graisse sur ce revêtement, elles se brûleront pendant le cycle de chauffage. Cela créera des taches permanentes, ce qui mettra en péril l’uniformité de la chaleur. Alors, veillez à bien les protéger.