دیگر وقت خود را صرف استفاده از روشهای گرمایشی آهسته نکنید؛ چرا که استفاده از هیترهای مادون قرمز مناسب برای شرایط خلأ، بهترین راه حل است.
اگر از هوای گرم برای گرم کردن مواد در شرایط خلأ استفاده میکنید، احتمالاً متوجه مشکلاتی شدهاید. در شرایطی که هیچ هوایی برای حرکت وجود ندارد، روش گرمایش تبادلی کارایی ندارد. در نتیجه، فرآیند گرمایش بسیار آهسته پیش میرود و این امر باعث میشود فرآیند فرآوری نیمههادیها متوقف شود.
این موضوع واقعاً آزاردهنده است؛ شما مجبورید منتظر بمانید تا تجهیزات به حالت عادی برگردند.
اما وقتی از هیترهای مادون قرمز مناسب برای شرایط خلأ استفاده میکنید، همه چیز تغییر میکند. دیگر نیازی نیست سعی کنید فضای خالی را گرم کنید؛ بلکه میتوانید مستقیماً خود ماده را گرم کنید.
در واقع، این روش باعث افزایش سریع دما میشود. به جای اینکه منتظر گرم شدن گاز باشید، هیترهای مادون قرمز تابش الکترومغناطیسی را مستقیماً به داخل ماده ارسال میکنند. یعنی میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید، نه چند دقیقه. برای کارخانههایی که سعی دارند تعداد بیشتری ویفر را فرآوری کنند، این یک مزیت بزرگ است؛ زیرا باعث کاهش زمان توقف فرآیند تولید میشود.
البته، این روش به این سادگیها نیست؛ باید به مسائل مربوط به گرمایش نیز توجه کرد. چون هیترهای مادون قرمز مقدار زیادی گرما را در یک فضای کوچک تولید میکنند، اگر مراقب نباشید، این تابش میتواند به دیوارههای محفظه برخورد کرده و سنسورها را خراب کند. بنابراین، باید مطمئن شوید که سیستمهای خنککننده شما واقعاً قادر به انجام کار خود هستند.
همچنین، ما زمان زیادی را صرف اطمینان از این کردیم که لامپهای مورد استفاده ما دچار مشکل نشوند. در شرایط خلأ، حتی کمترین آلودگی نیز میتواند ویفرهای سیلیکونی را خراب کند. به همین دلیل، ما عناصر گرمایشی را درون کپسولهایی قرار دادیم؛ تا هیچ مشکلی پیش نیاید.
اما جادوی واقعی، کنترل دماست. وقتی از روش گرمایش مداوم استفاده نکنید، دیگر مشکلات مربوط به انرژی گرمایی وجود نخواهد داشت. میتوانید دما را دقیقاً در زمانی که میخواهید، افزایش یا کاهش دهید. برای مهندسان، این موضوع باعث میشود فرآیند تولید دقیقتر شود و مقدار کمتری محصول نیز از کار خارج شود.
اگر هنوز از روشهای گرمایشی معمولی در شرایط خلأ استفاده میکنید، احتمالاً هر هفته ساعتها زمان تولید را از دست میدهید. چرا باید این تأخیر را تحمل کنید؟ بهتر است از هیترهای مادون قرمز استفاده کنید تا کارتان را سریعتر انجام دهید.