حفظ پاکیزگی فضای کاری در سطح Class 100
اگر شما از یک اتاق کار با استاندارد Class 100 (ISO 5) استفاده میکنید، قطعاً میدانید که وجود حتی یک ذره کوچک نیز میتواند مشکلات بزرگی ایجاد کند. یک تکه کوچک از مواد اکسیدشده یا مقدار کمی گاز ناشی از عناصر گرمایشی، میتواند به ویرانی ویفرها یا قطعات نوری منجر شود.
معمولاً، هیترهای مقاومتی، عامل اصلی این مشکلات هستند؛ زیرا آنها دچار اکسیداسیون میشوند و مناسب این سطح از دقت نیستند. به همین دلیل، ما از لامپهای مادون قرمز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم.
چرا کوارتز مناسب است؟
ما از کوارتز سیلیکا برای ساخت این لامپها استفاده میکنیم. مزیت آن این است که حتی در دماهای بسیار بالا نیز تجزیه نمیشود و ذرات ریزی از خود تولید نمیکند. علاوه بر این، گرما از طریق تابش مادون قرمز منتقل میشود؛ بنابراین هوای اطراف قطعه گرم نمیشود و این امر باعث کاهش گرد و غبار میشود. روش سادهای است، اما بسیار مؤثر.
جزئیات مربوط به نصب لامپها
این لامپها میتوانند مقدار زیادی گرما تولید کنند. ما میتوانیم از لامپهای کوچک ۱۰۰ میلیمتری برای گرم کردن نقاط خاص استفاده کنیم، یا از لامپهای بزرگ ۵۰۰ میلیمتری برای گرم کردن کل ویفر استفاده کنیم. ما توان لامپها را بر اساس فضای موجود تنظیم میکنیم.
نکته مهمی که باید در نظر گرفت: اتصالات لامپها. ما از اتصالات نوع R7 یا SK15 برای اطمینان از اتصال صحیح استفاده میکنیم؛ زیرا اتصالات ضعیف میتوانند باعث ایجاد جرقه شوند، که این امر نه تنها لامپ را از بین میبرد، بلکه گازهای فلزی را نیز وارد اتاق کار میکند. هیچ کس نمیخواهد با پاکسازی این مشکلات سروکار داشته باشد.
بسته به اینکه چه چیزی را میخواهید گرم کنید، ممکن است به لایههای پوششی مختلفی نیاز داشته باشید. کوارتز شفاف، انرژی مادون قرمز را به خوبی منتقل میکند؛ اما اگر نگران نقاط گرم شدن هستید، میتوانیم لایههای نازکی روی آن اضافه کنیم تا این مشکلات کاهش یابد.
هشدارهایی از تجربه عملی
لامپهای کوارتز سریع عمل میکنند؛ اما دمای آنها بسیار بالاست. اگر یک لامپ با توان ۲۰۰۰ وات را در فضای بسیار کوچکی قرار دهید، فنهای خنککننده باید قادر به کار کردن در شرایط سخت باشند. اگر هوا در اطراف لامپ جریان نیابد، اتصالات لامپ آسیب خواهند دید. همچنین، حتماً سیمها را به خوبی بررسی کنید؛ زیرا اگر سیمها در محدوده تابش قرار بگیرند، عایقهای آنها ذوب خواهند شد.