
دستگاههای گلووباکس، محیطی برای گرم کردن ویفرها هستند؛ اما اغلب، بخش زیادی از انرژی صرف شده، هدر میرود. در اکثر دستگاههای IR استاندارد، انرژی به تمام جهات پراکنده میشود؛ در نتیجه، نیمی از انرژی صرف گرم کردن دیوارههای دستگاه میشود، نه سطح ویفر. این یک هدررفت بزرگ انرژی است.
به همین دلیل، ما رفلکتورهای پوشیده شده با طلا را در ساختار دستگاههای گرمایشی قرار دادیم.
چرا طلا؟ دلیل استفاده از طلا، خواص منعکسکنندگی فوقالعاده آن در برابر نور مادون قرمز است. با اضافه کردن یک لایه نازک از طلا به رفلکتور، میتوانیم فوتونهایی که از رفلکتور خارج میشوند را دوباره به سمت ویفر بازگردانیم. این کار باعث میشود که انرژی به صورت متمرکز به ویفر برسد. در نتیجه، نیازی به افزایش توان دستگاه نیست. در واقع، این روش، یک ابزار ساده را به ابزاری دقیق تبدیل میکند.
مدیریت گرما نکته خوب این است که انرژی به سرعت منتقل میشود؛ بنابراین زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کاهش مییابد. اما باید مراقب بود؛ زیرا تمرکز انرژی در یک نقطه، میتواند باعث ایجاد نقاط داغ شود. بهتر است تنظیمات کنترلر PID را بررسی کنید تا از فراتر رفتن از دمای مورد نظر جلوگیری شود.
نصب دستگاه ما میدانیم که فضای داخل گلووباکسها محدود است؛ بنابراین این دستگاهها را به گونهای طراحی کردهایم که کوچک و ساده باشند؛ در واقع، جایگزین مناسبی برای آرایههای IR موجود هستند.
یک مزیت دیگر این دستگاهها این است که به دلیل عملکرد عالی رفلکتورهای طلا، میتوانید از توان کمتری برای رسیدن به همان نتیجه استفاده کنید. این کار، فشار کمتری بر روی فیلامنت لامپها وارد میکند؛ در نتیجه، لامپها کمتر خراب میشوند.
فقط یک نکته: سطوح طلایی دستگاه را تمیز نگه دارید؛ کمی گرد و غبار یا اکسیداسیون میتواند باعث کاهش کارایی دستگاه شود. اگر سطح دستگاه براق باقی بماند، همچنان به خوبی کار خواهد کرد.