Mantener su sala limpia de clase 100 realmente limpia
Si opera en una sala limpia de clase 100 (ISO 5), ya conoce bien el problema que supone la presencia de incluso una sola partícula en el aire. Un pequeño fragmento resultante de la oxidación o un poco de gas proveniente de los elementos calefactores pueden destruir su wafer o componente óptico.
Por lo general, los calentadores resistentes son la causa de este problema. Se desintegran y se oxidan fácilmente; simplemente no están diseñados para ese nivel de precisión. Por eso, preferimos usar lámparas infrarrojas de cuarzo sintético de alta pureza.
Por qué el cuarzo funciona bien
Utilizamos cuarzo de sílice fusionada como material para las lámparas. La ventaja es que no se desintegra ni libera partículas microscópicas, incluso cuando se somete a temperaturas extremas. Además, el calor se transfiere a través de radiación infrarroja de onda corta. En lugar de calentar todo el aire circundante, lo cual genera corrientes que levantan polvo, la energía llega directamente al objeto que se está calentando. Menos movimiento del aire significa un producto mucho más limpio. Es sencillo y eficaz.
Detalles sobre la instalación
Estas lámparas pueden soportar una gran densidad de calor. Podemos utilizar tubos de 100 mm para calentar áreas pequeñas, o arrays de 500 mm para calentar todo un wafer. Ajustamos la potencia según el espacio disponible.
Un punto importante a tener en cuenta son los conectores. Utilizamos conectores R7 o SK15 para garantizar una conexión segura. No se debe permitir que haya conexiones flojas, ya que esto puede causar arcos eléctricos, lo cual no solo destruye la lámpara, sino que también libera vapor metálico en la sala limpia. Nadie quiere lidiar con esa limpieza.
Dependiendo de lo que esté calentando, podría necesitar recubrimientos diferentes. El cuarzo transparente proporciona una potencia eficiente. Pero si le preocupan los puntos calientes y desea una distribución más uniforme del calor, podemos aplicar un recubrimiento fino para suavizar las diferencias de temperatura.
Algunas advertencias prácticas
Las lámparas de cuarzo funcionan muy rápido: alcanzan su temperatura casi al instante. Pero también generan mucho calor. Si coloca un array de 2000 W en un espacio reducido, sus ventiladores de enfriamiento deben ser lo suficientemente potentes. Si el aire no circula alrededor de los conectores, estos se dañarán. También revise bien los cables; manténgalos alejados de la zona de radiación, de lo contrario, el aislamiento se derretirá.