Wie man die Heizung der Wafer richtig einstellt
Wer schon einmal in einem Reinraum für Halbleiter gearbeitet hat, kennt die Herausforderungen. Die Heizelemente müssen eine gleichmäßige Wärmeabgabe auf die Wafer gewährleisten – doch es darf keine Kontaminationen geben, die alles durcheinanderbringen könnten. Es handelt sich dabei um ein sehr kniffliges Unterfangen. Die meisten Menschen nutzen dazu Aluminiumreflektoren – doch das Problem ist, dass diese zu viel Infrarotstrahlung aufnehmen. Im Grunde bezahlt man also für Energie, die nie die Wafer erreicht.
Deshalb kommen Goldbeschichtungen ins Spiel.
Warum Gold?
Es klingt luxuriös – aber es geht eigentlich nur um Physik. Gold reflektiert etwa 98 Prozent der langwelligen Infrarotstrahlung. Stellen Sie sich vor: Anstatt dass die Wärme im Gehäuse des Heizelements verloren geht, werden die Photonen direkt auf die Wafer reflektiert. So erhalten Sie mehr Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – ohne dass die Leistung erhöht werden muss. Das ist einfach und effizient.
Die Steuerung der Wärme
Hier liegt das Problem: Hochleistungs-Infrarotlampen erzeugen eine enorme Wärmedichte. Wenn die Geometrie der Reflektoren auch nur um wenige Millimeter falsch ist, entstehen Hotspots. Und Hotspots führen dazu, dass die Wafer verformt werden.
Um Unreinheiten zu vermeiden, verwenden wir hochreine Quarzlampen. So entsteht kein Ausgasen und es bleibt alles sauber. Achten Sie jedoch darauf, die Kühlung ordnungsgemäß einzustellen. Da die Goldreflektoren so viel Energie abgeben, kann die Rückseite des Lampengehäuses ebenfalls sehr heiß werden. Wenn die Belüftung nicht ausreicht, können thermische Sensoren beschädigt werden – oder schlimmer noch: Die nahegelegenen Elektronikkomponenten können zerstört werden.
Praktische Umsetzung
Im Betrieb kommt es vor allem auf die richtige Ausrichtung an. Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie direkt als Ersatz eingesetzt werden können – ohne lange Stillstandszeiten. Man muss sie einfach mit den vorhandenen Steuergeräten verbinden, und schon funktionieren sie.
Sie werden feststellen, dass die Zeit bis zur Erreichen der Zieltemperatur deutlich kürzer ist.
Ein Hinweis: Gold hasst Fingerabdrücke! Wenn Sie Fettspuren auf der Beschichtung hinterlassen, werden diese während des Heizvorgangs verbrennen. Dadurch entstehen dauerhafte dunkle Flecken, die die gleichmäßige Hitzeverteilung beeinträchtigen. Bitte halten Sie die Geräte daher sauber.