Wie man einen Class-100-Reinraum wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Class-100-Reinraum (ISO 5) betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der einzelnen Staubpartikel. Schon eine kleine Oxidationsstelle oder etwas Abgas von einem Heizelement kann dazu führen, dass Ihre Wafer oder optischen Komponenten beschädigt werden.
Übliche Widerstandsheizer sind in der Regel die Ursache dafür. Sie zerfallen, oxidieren – sie sind einfach nicht für diese hohe Präzision geeignet. Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-Infrarotlampen.
Warum Quarz funktioniert
Wir verwenden geschmolzenen Siliziumquarz als Hülle. Der Vorteil dabei ist, dass dieser Material nicht zerfällt und keine mikroskopisch kleinen Partikel freisetzt – selbst bei extremen Temperaturen. Zudem wird die Wärme über Kurzwellen-Infrarotstrahlung übertragen. Anstatt die Luft um das Bauteil zu erhitzen – was zu Staubbildung führt – gelangt die Energie direkt ins Bauteil. Weniger Luftbewegung bedeutet ein viel saubereres Produkt. Es ist einfach – und es funktioniert.
Einsatzmöglichkeiten
Diese Lampen können eine hohe Wärmestärke bewältigen. Wir können von kleinen 100-mm-Lampen für eine schnelle lokale Beheizung bis hin zu großen 500-mm-Lampen für die Beheizung ganzer Wafer alles nutzen. Die Leistung wird entsprechend dem verfügbaren Raum angepasst.
Was man beachten muss
Achten Sie auf die Anschlüsse. Wir verwenden R7s oder SK15, um eine feste Verbindung zu gewährleisten. Eine lose Verbindung kann zu Funkenbildung führen – was nicht nur die Lampe zerstört, sondern auch Metalldämpfe in den Reinraum bringt. Niemand möchte sich mit der anschließenden Reinigung beschäftigen müssen.
Je nachdem, was Sie beheizen wollen, benötigen Sie vielleicht unterschiedliche Beschichtungen. Klarer Quarz liefert eine reine, kurzwellige Energie. Wenn Sie jedoch auf Hotspots achten möchten und eine gleichmäßigere Verteilung der Wärme wünschen, können wir eine dünne Schutzschicht auftragen.
Ein paar Warnungen aus der Praxis
Quarzlampen arbeiten sehr schnell – sie erreichen ihre Temperatur fast sofort. Doch sie werden dabei sehr heiß. Wenn man eine hochleistungsstarke 2000-Watt-Lampe in einen kleinen Raum setzt, müssen die Kühllüfter stark genug sein. Wenn die Luft nicht um die Lampen herumzirkulieren kann, können die Anschlüsse beschädigt werden. Überprüfen Sie außerdem die Verkabelung – halten Sie sie möglichst fern von der Strahlungszone, sonst könnte die Isolierung schmelzen.