停止在工厂里制造臭氧吧！
如果你曾经在半导体洁净室工作过，那就知道其中的麻烦了。为了获得精确的温度控制，人们会使用短波红外线灯。但问题在于，这些灯会释放出真空紫外线，而这种射线会将空气中的氧气转化为臭氧。
臭氧简直就是个噩梦——它会腐蚀有机材料，迫使人们使用耗能巨大的净化系统来保持空气的清洁以及晶圆的纯净度。这其实是一场永无止境的战斗。我们找到了更好的解决方案：使用不会产生臭氧的红外线灯。
其工作原理
普通石英灯会发出波长低于200纳米的光线，这些光线会与氧气分子发生反应，从而生成臭氧。为了解决这个问题，我们使用了特殊的紫外线过滤涂层或掺杂过的石英材料。这种材料就像一个过滤器，能够阻挡真空紫外线，同时让能够传递热量的红外线通过。这样，你就可以获得所需的热量，而无需承受臭氧带来的危害。
如何将其应用到生产线上
我们可以将这种灯直接作为替代品使用。如果你已经有了固化或烘焙用的烤箱，那么只需更换灯泡即可，而且还可以将其与现有的控制系统相连。不过需要注意的一点是，这类灯的功率相当高，启动速度很快，但这也会导致电力消耗增加。因此，务必确保你的电气系统能够承受峰值电流，否则就有可能在运行过程中导致断电。
环保优势
真正的优势不仅仅在于化学方面的好处，还在于能源成本上的节省。一旦不再产生臭氧，就不必再使用那些耗能巨大的净化设备了。这样一来，你就可以大幅减少能源浪费，从而降低每块晶圆的碳足迹。这样一来，工厂的环境会更清洁，能源成本也会降低，同时还不需要降低生产效率。这无疑是一举多得的解决方案。