
别再为100级洁净室中的污染问题而烦恼了。
如果你曾在100级洁净室工作过,就能明白其中的不便之处。哪怕有一丁点灰尘或气体泄漏,整个生产批次就会毁掉。
大多数加热元件在这里都是个麻烦源——它们会逐渐出现磨损,且在加热和冷却过程中会释放出有害气体。这简直就是与物理规律的持续斗争。
我们决定不再试图解决这些表面问题,而是直接从源头解决问题。因此,我们将碳纤维加热元件与高纯度合成石英管结合在一起使用。
为什么碳纤维如此有效?
金属线圈的问题在于它们会氧化,随着时间的推移,会释放出微小的颗粒物。而碳纤维则完全不同,它非常稳定。通过将碳纤维放入高纯度石英管中,我们实际上在热源与空气之间形成了一道屏障,从而防止任何物质泄漏出来。
此外,碳纤维产生的红外线可以深入材料内部,无需将表面温度提升到极高的水平。这样就能获得所需的热量,同时不会让芯片周围的空气受到破坏。
关于材料的细节
我们选择使用熔融石英玻璃,因为它的性能在温度变化时依然稳定。它的热膨胀系数很低,也就是说,在电源开关频繁切换时,它也不会开裂。
至于密封方面,那通常是容易出问题的地方。我们使用专门的玻璃-金属密封件来确保内部气体不会泄漏出来。
不过需要注意的是:要控制好功率密度。这些灯的升温速度很快,虽然这很好,但石英管会变得非常热。如果把它们安装在空间狭小的地方,就必须确保机箱内有足够的气流,这样才能避免热量影响附近的传感器。
如何将它们安装到系统中
最棒的是,这些产品完全可以替代传统的红外加热器。你不必再为复杂的过滤系统而烦恼了。一旦消除了污染源,HEPA过滤器就不必那么辛苦地工作了。只需将它们连接到稳定的直流或交流电源上即可。这样就不会有污染物,也没有压力,只有热量而已。