Hãy ngừng lãng phí thời gian vào việc sử dụng phương pháp sưởi ấm chậm chạp này đi. Tại sao lại chọn bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không?
Nếu bạn vẫn sử dụng không khí nóng để làm nóng vật liệu trong môi trường chân không, bạn chắc hẳn đã nhận ra một vấn đề: quá trình truyền nhiệt bằng convection hoàn toàn không hiệu quả khi không có không khí để di chuyển. Kết quả là quá trình sưởi ấm diễn ra rất chậm, khiến quy trình sản xuất chất bán dẫn bị cản trở.
Thật khó chịu khi phải chờ đợi thiết bị hoạt động. Nhưng khi bạn chuyển sang sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại phù hợp với môi trường chân không, mọi thứ sẽ thay đổi. Bạn không cần phải sưởi ấm không khí xung quanh nữa, mà chỉ cần sưởi trực tiếp lên chính vật liệu cần xử lý.
Đó chính là cách tăng nhiệt độ một cách nhanh chóng. Thay vì chờ đợi khí nóng lên, bộ sưởi bằng tia hồng ngoại sẽ truyền bức xạ điện từ trực tiếp vào vật liệu. Bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn trong vài giây, chứ không phải vài phút. Điều này rất quan trọng đối với những xưởng sản xuất muốn xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ. Bạn sẽ loại bỏ được những khoảng thời gian lãng phí mà trước đây khiến hiệu suất sản xuất bị giảm.
Tuy nhiên, việc sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại cũng đòi hỏi bạn phải chú ý đến yếu tố nhiệt. Vì bộ sưởi này tạo ra rất nhiều nhiệt trong một khu vực nhỏ, nên bạn cần chú ý để tránh cho bức xạ này va vào các bức tường của buồng chân không và làm hỏng các cảm biến. Bạn cũng cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát của mình hoạt động tốt trước khi bật bộ sưởi.
Chúng tôi cũng dành rất nhiều thời gian để đảm bảo rằng các bộ sưởi này không gây ra bất kỳ sự ô nhiễm nào. Trong môi trường chân không, bất kỳ sự ô nhiễm nhỏ nào cũng có thể phá hủy wafer silic. Đó là lý do tại sao chúng tôi đựng các bộ sưởi này trong vỏ bảo vệ – để tránh sự phát sinh các hạt bụi hay sự ô nhiễm khác.
Nhưng điều thực sự tuyệt vời là khả năng kiểm soát nhiệt độ. Khi bạn từ bỏ phương pháp sưởi bằng không khí, bạn sẽ loại bỏ được hiện tượng trì hoãn do tính chất cản trở nhiệt của không khí. Bạn có thể tăng hoặc giảm nhiệt độ theo ý muốn. Điều này giúp các kỹ sư kiểm soát quy trình sản xuất tốt hơn, và giảm tỷ lệ sản phẩm bị hỏng.
Nếu bạn vẫn tiếp tục sử dụng các bộ sưởi thông thường trong môi trường chân không, bạn chắc chắn sẽ mất hàng giờ thời gian sản xuất mỗi tuần. Tại sao phải chịu đựng điều đó? Hãy chuyển sang sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại để hoàn thành công việc nhanh hơn.