Trong quá trình nung phim quang hóa, bất kỳ sự sai lệch nhiệt độ nào cũng có thể gây ra những ảnh hưởng nghiêm trọng. Sự chênh lệch nhiệt độ 2°C trong quá trình nung có thể khiến cho độ chính xác kích thước của các linh kiện trên wafer bị suy giảm. Điều này dẫn đến tỷ lệ sản phẩm bị lỗi tăng lên, trước cả khi người kiểm tra kịp phát hiện ra. Chúng tôi đã thiết kế loại nhiệt kế này để kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, ngăn chặn những sai lệch ngay từ đầu.
Điều quan trọng nhất Loại nhiệt kế này được thiết kế để kiểm soát nhiệt độ với độ chính xác cao, ở mức vài chục phần trăm độ. Nó giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, từ đó giúp quá trình xử lý phim quang hóa diễn ra đúng tiêu chuẩn. Thiết bị này cũng tương thích với các phòng sạch loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, nhờ đó tránh được tình trạng nhiễm bẩn trong quá trình sản xuất. Độ ổn định của tín hiệu đầu ra rất cao, giúp tránh được tình trạng ngừng máy bất ngờ trong quá trình sản xuất hàng loạt. Thiết kế của nhiệt kế này cũng phù hợp với các khối sưởi thông thường và các giao diện kết nối thông dụng, giúp việc lắp đặt dễ dàng hơn.
Tại sao nó lại hiệu quả trong sản xuất? Bạn cần sự ổn định về nhiệt độ, chứ không phải phụ thuộc vào nhiệt độ trong phòng. Trong quá trình xử lý phim quang hóa, loại nhiệt kế này giúp duy trì nhiệt độ ở mức chính xác, từ đó giúp kiểm soát kích thước các linh kiện một cách chính xác. Vật liệu được sử dụng trong thiết bị này cũng phù hợp với môi trường phòng sạch, giúp giảm số lượng sản phẩm bị lỗi. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt vì hệ thống điều khiển không cần phải điều chỉnh liên tục. Kết quả là hiệu suất sản xuất luôn ổn định, từ ca làm việc này sang ca làm việc khác, từ wafer này sang wafer khác.
Những chi tiết quan trọng cần lưu ý Việc lắp đặt nhiệt kế cần phải phù hợp với khối lượng của bộ sưởi và vị trí của các điểm kết nối – nếu không, điều này sẽ gây ra sai lệch nhiệt độ. Để đạt được hiệu suất tốt nhất, bạn cần kết hợp nhiệt kế với các bộ phận kết nối phù hợp với bộ điều khiển của mình, và tiến hành calibrate theo mức nhiệt độ thực tế của máy, chứ không phải theo mức đo ở bàn thử nghiệm. Trong môi trường có độ ẩm cao, tuổi thọ của nhiệt kế có thể bị giảm, trừ khi các bộ phận kết nối được thiết kế phù hợp với điều kiện đó.