Trong quy trình in ảnh bằng phương pháp litografi, các thông số liên quan đến quá trình nung – như mức độ nung mềm và mức độ nung cứng – đóng vai trò quan trọng trong việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 5°C trong khu vực nung, chất lượng lớp phim quang học sẽ bị ảnh hưởng. Chúng tôi đã chế tạo loại đèn sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ yếu tố gây biến động nhiệt độ này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Đây là loại đèn phát ra tia hồng ngoại bước sóng ngắn, vì vậy tốc độ phản ứng của nó rất nhanh – chỉ trong vài phân giây. Năng lượng được truyền trực tiếp vào wafer một cách chính xác. Mức độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer nằm trong khoảng ±0,1°C, điều này giúp đảm bảo quá trình nung diễn ra một cách nhất quán từ lần này sang lần khác. Đèn hoạt động một cách hiệu quả, không có khuyết tật nào xảy ra, và có thể được sử dụng trong các phòng sạch loại 1–100 mà không gây ra vấn đề gì. Về mặt hiệu suất, đèn hoạt động ổn định suốt cả ngày đêm; các thiết bị này đã hoạt động được hơn 5.000 giờ mà mức độ sai lệch về năng suất vẫn dưới 5%.
Tại sao nó phù hợp với các quy trình sản xuất thực tế: Bạn có thể lắp đặt đèn này trực tiếp vào dây chuyền litografi hoặc vào các trạm nung riêng biệt. Nó thay thế được những thiết bị cũ khiến nhiệt độ tăng quá mức, điều này gây ra nhiều vấn đề cho lớp phim quang học. Kết quả là quá trình nung diễn ra một cách nhất quán, giúp giữ nguyên cấu trúc của lớp phim quang học, từ đó giảm thiểu các khuyết tật. Tốc độ phản ứng nhanh của đèn còn giúp rút ngắn thời gian xử lý, giảm chi phí năng lượng và tăng năng suất sản xuất.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt: Việc lắp đặt đòi hỏi phải có nguồn điện ổn định và hệ thống điều hòa nhiệt độ hiệu quả để duy trì mức độ đồng đều của nhiệt độ. Đèn có thể hoạt động tốt, nhưng vỏ đèn bằng thủy tinh vẫn cần được xử lý cẩn thận trong quá trình bảo trì. Hãy lên kế hoạch thay thế đèn vào những lúc phòng sạch được dừng hoạt động, như vậy sẽ tránh được những sự cố không mong muốn. Như vậy, quy trình sản xuất sẽ luôn được kiểm soát tốt, từ lần này sang lần khác.