Trên dây chuyền 300mm, quá trình ashing không chỉ đơn thuần là “đốt sạch.” Đây là việc quản lý ngân sách nhiệt nghiêm ngặt. Tàn dư photoresist còn sót lại sau khi tách có thể tạo vết mờ trên lớp khắc tiếp theo, và nếu nhiệt độ không đồng đều, bạn có nguy cơ xảy ra quá nhiệt làm giảm tỷ lệ thành phẩm. Chúng tôi thiết kế các mô-đun ashing hồng ngoại để hoạt động trong thực tế đó.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Hồng ngoại cung cấp năng lượng nhanh, không tiếp xúc và tăng theo hấp thụ, không theo nhiệt độ khối lượng lớn. Các bộ phát sóng ngắn hồng ngoại của chúng tôi, kết hợp với thiết kế nhiệt cải tiến bằng thạch anh, giữ được sự đồng đều cấp wafer trong phạm vi ±0.1°C trên toàn bộ cửa sổ quy trình. Hệ thống duy trì sự ổn định đó ở các điểm cài đặt mà bạn thực sự sử dụng cho quá trình tách photoresist, với độ lặp lại đủ chặt để kiểm soát kích thước quan trọng còn nguyên vẹn.
Tính tương thích với phòng sạch không phải là điều xem nhẹ. Chúng tôi dùng vật liệu ít phát khí, mối nối kín, và đường đi kiểm soát hạt để số lượng hạt giữ trong giới hạn lớp 1–100. Kết quả là các dạng tách dự đoán được, tốc độ loại bỏ ổn định, và áp lực nhiệt tối thiểu lên màng nền.
Tại sao nó hiệu quả trên sàn sản xuất
Trong ashing, thời gian là năng suất. Tăng nhiệt nhanh rút ngắn chu kỳ, nhưng chỉ khi kiểm soát nhiệt độ không bị lệch. Nhiệt hồng ngoại tác động trực tiếp lên lớp resist, nên buồng và khay đỡ giữ được nhiệt độ thấp hơn và giao thoa nhiệt giảm. Điều này nghĩa là ít sự cố, giảm sản phẩm phế, và công suất duy trì ổn định qua mỗi ca làm việc.
Năng lượng tiêu thụ giảm vì năng lượng tập trung vào wafer cần xử lý, không bị phân tán lên các bộ phận gia nhiệt khác. Độ tin cậy dựa vào thời gian hoạt động liên tục: các mô-đun chạy 24/7 với các đợt bảo trì định kỳ, và năng suất vẫn giữ trong thông số kỹ thuật qua hàng ngàn wafer.
Những điều cần lưu ý
Ashing hồng ngoại nhạy cảm với khoảng cách emitter đến wafer và khác biệt phát xạ nhiệt trên các lớp phim. Việc lắp đặt phải cố định khoảng cách ổn định, và bạn cần một công thức hiệu chuẩn phù hợp với hệ lớp phim của mình. Cần dự kiến một thời gian hiệu chuẩn ngắn để xác định điểm cài đặt và xác nhận độ đồng đều giữa các lô.
Sau khi hiệu chuẩn, quy trình ổn định — nhưng cần coi nó như một tham số kiểm soát, không phải là mặc định chung cho tất cả.