لائن پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرتے وقت کسی قسم کی غلطی کو برداشت نہیں کیا جاسکتا۔ سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران 2°C کی تبدیلی سے ویفر پر CD کی قیمت میں تغیر پیدا ہو جاتا ہے۔ انسپکٹر کو اس کا احساس ہونے سے پہلے ہی پروڈکشن میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔ ہم نے سیمی کنڈکٹر ہیٹرز کے لئے خصوصی تھرموکپل تیار کیا ہے، تاکہ اس قسم کے نقصانات کو شروع ہونے سے ہی روکا جاسکے۔
جو چیزیں اہم ہیں
یہ تھرموکپل، درجہ حرارت کنٹرول کے لئے استعمال کیا جاتا ہے؛ کیوں کہ پروسس میں درجہ حرارت کی درستگی ڈگریوں کے حصوں میں ہی ماپی جاتی ہے۔ یہ ہاٹ زون میں ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی درستگی فراہم کرتا ہے، تاکہ فوٹوریزسٹ کا بہاؤ اور حل کی صفائی مناسب حدود میں رہے۔ یہ سینسر کلاس 1-100 کے کلین رومز کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے، اور کوئی ذرہ خارج نہیں کرتا؛ اس طرح لیتھوگرافی اور ٹریک انٹیگریشن میں کوئی آلودگی نہیں پیدا ہوتی۔ آؤٹ پٹ کی درستگی ہر وقت برقرار رہتی ہے، جس سے ہائی-وولیوم ٹولز میں کوئی غیرمتوقع تعطل نہیں ہوتا۔ اس کی ساخت معیاری ہیٹر بلاکس اور کنکٹرز کے ساتھ مطابقت رکھتی ہے، لہذا اس کی تنصیب آسان ہے۔
پروڈکشن میں اس کی اہمیت
پروڈکشن میں درجہ حرارت کی استحکام ضروری ہے، نہ کہ کمرے کے درجہ حرارت کی۔ فوٹوریزسٹ پروسسنگ میں، یہ تھرموکپل درجہ حرارت کو کنٹرول کرتا ہے، تاکہ کریٹیکل ڈائمینشنز کنٹرول میں رہیں۔ کلین روم کے مطابق مواد اور بغیر ذرات والی ساخت سے خرابیوں کی تعداد کم ہو جاتی ہے، جس سے کم ویسٹ اور دوبارہ کام کی ضرورت نہیں پڑتی۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ کنٹرول لوپ کوئی غلطیوں کو درست نہیں کرتا، اور ہیٹر پر لگنے والا دباؤ بھی کم ہو جاتا ہے۔ نتیجے کے طور پر، ہر شفٹ میں، ہر ویفر پر قابل اعتماد کارکردگی حاصل ہوتی ہے۔
عملی تفصیلات
تنصیب کے دوران، ہیٹر کے وزن اور تھرموکپل کی جگہ کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے؛ کیوں کہ غلط جگہ پر تنصیب سے تاخیر اور غلطیاں پیدا ہوتی ہیں۔ بہترین کارکردگی کے لئے، سینسر کو کنٹرولر کے ساتھ مناسب طریقے سے جوڑنا ضروری ہے، اور اسے درست ٹول سیٹ پوائنٹ کے مطابق کیلیبریٹ کرنا ضروری ہے، نہ کہ بینچ ریڈنگ کے مطابق۔ اعلی نمی والے ماحول میں، اس کی عمر کم ہو سکتی ہے، مگر اگر فیڈتھرو اور سیلنگ مناسب طریقے سے کی گئی ہو تو ایسا نہیں ہوگا۔