فیبرک فلور پر، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں صرف آدھا ڈگری کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی کوالٹی کو خراب کرنے کے لئے کافی ہے۔ اگر آپ پروڈکشن کو برقرار رکھنا چاہتے ہیں، تو تھرمل کنٹرول کو نظرانداز نہیں کیا جاسکتا؛ اسے ایک اہم عملی پیرامیٹر کے طور پر ہی لینا چاہیے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے یہ PID-کنٹرولڈ سیمی کنڈکٹر ہیٹر ایک بند لوپ سسٹم کے ذریعے تیار کیا ہے، جو لیتھوگرافی بیکنگ سٹیشنوں کے لئے موزوں ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر ہی رکھا جاتا ہے، تاکہ ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوں۔ ہیٹر کا ڈھانچہ کلاس 1–100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے، اور اس کے مواد اور سطحیں ایسی ہیں کہ ذرات کی پیداوار صفر رہے۔ یہ ہیٹر 24/7 کام کرنے کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور درجہ حرارت کی استحکامیت فوٹوریزسٹ کی قابل قبول حدود کے اندر ہی رہتی ہے۔
یہ کیوں اہم ہے؟
“سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” وہ مراحل ہیں جن کے ذریعے اشیاء کے ابعاد اور خصوصیات مقرر کیے جاتے ہیں۔ اس ہیٹر کی بدولت فوٹوریزسٹ کے بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کی درستگی برقرار رہتی ہے، جس کی وجہ سے کم ورک ریٹ ہوتا ہے، اور پروسیس کی باقاعدگی برقرار رہتی ہے۔ اس طرح، کریٹیکل ڈائمینشنز کا بہتر کنٹرول ممکن ہوتا ہے، اور تھرمل تغیرات کی وجہ سے پیدا ہونے والی مشکلات کم ہو جاتی ہیں۔
کچھ عملی نکات:
یہ سسٹم بہتر طریقے سے کام کرتا ہے، لیکن PID کی ترتیبات کو چیمبر کے وزن، ہوا کے بہاؤ اور ریمپ پروفائل کے مطابق ہی کیا جانا چاہیے۔ براہ کرم ہمیں اپنے بیکنگ پروفائل کی تفصیلات دیں – ریمپ ریٹ، سوک ٹائم، اور سیٹپوائنٹس – تاکہ کنٹرول پیرامیٹرز آپ کے آلات کے مطابق ہی سیٹ کیے جاسکیں، نہ کہ صرف ہمارے آلات کے مطابق۔
جب یہ سسٹم استعمال میں آجائے، تو سینسر کی کیلیبریشن کو آپ کی پریونٹیو مینٹیننس سکیم کے مطابق ہی کیا جانا چاہیے۔ اس طرح ہی آپ ±0.1°C کے معیار کو ہر روز برقرار رکھ سکتے ہیں۔