
Перестаньте чекати, поки праски нагріються: кращий спосіб нагрівання пластин
Якщо ви зайдете до більшості заводів з виробництва напівпровідників, то побачите ту саму стару схему нагріву – циркуляція гарячого повітря. Це, по суті, величезна конвекційна піч. Спочатку нагрівається повітря, потім це повітря нагріває камеру, а потім доводиться чекати, поки тепло проникне у саму пластину.
Це повільно. Чесно кажучи, це найбільша перешкода у всьому процесі. Час, який проходить між моментом увімкнення пристрою та досягненням бажаної температури, є марною тривалістю часу.
Усунення зайвих елементів
Інфрачервоне опалення функціонує інакше. Замість того, щоб працювати з повітрям, інфрачервоні випромінювачі посилають електромагнітне випромінювання прямо на поверхню пластини. Енергія миттєво поглинається поверхнею. Йдеться про мілісекунди, а не хвилини. Таким чином усувається проблема теплової інерції, яка виникає через використання великих вентиляторів та каналів для циркуляції повітря. Усе відбувається автоматично.
Більше можливостей
Коли ви не використовуєте примусову циркуляцію повітря, ваш простір стає більш ефективним у використанні. Вам більше не потрібні величезні, ізольовані печі чи шумні вентилятори для підтримки стабільної температури. Крім того, можна налаштувати інфрачервоні випромінювачі так, щоб вони нагрівали конкретні ділянки пластини. Це дає значно вищий рівень точності, якого не може досягти система з використанням повітря. Оскільки процес нагрівання та охолодження відбувається значно швидше, процес очікування припиняється. Ваша продуктивність зростає, адже ви фактично працюєте, а не чекаєте.
Недоліки (адже їх завжди є)
Інфрачервоне опалення є досить інтенсивним. Оскільки тепло поширюється прямо, потрібно бути обережними. Якщо випромінювачі розташовані неправильно чи контролери не налаштовані правильно, можуть виникнути „гарячі точки“. Не можна просто замінити обладнання та все буде гаразд. Потрібно переглянути розташування датчиків. А якщо система охолодження не може впоратися з такими різкими змінами температури? Тоді поверхня пластини може деформуватися.
Але для заводів, які намагаються скоротити час виконання процесів, це є ідеальним рішенням. Це як різниця між нагріванням усієї кімнати та простим увімкненням ліхтарика. Ви можете швидше готувати свої продукти.