Fırınlarınızı beklemeyi bırakın: Waferleri ısıtmanın daha iyi yolu
Çoğu yarı iletken üretim tesisine girdiğinizde aynı eski yöntemi görürsünüz: Sıcak hava dolaşımı. Bu aslında devasa bir konveksiyon fırınıdır. Havadan yararlanarak odayı ısıtırsınız; ardından bu ısının waferlere nüfuz etmesini beklersiniz.
Bu süreç oldukça yavaştır. Dürüst olmak gerekirse, bu durum tüm işlemin en büyük engelidir. Anahtarı çevirdikten sonra hedef sıcaklığa ulaşılana kadar geçen süre tamamen boşa harcanan zaman demektir.
Orta adımı ortadan kaldırma
Kızılötesi ısıtma ise farklı şekilde çalışır. Hava ile uğraşmak yerine, kızılötesi cihazlar elektromanyetik radyasyonu doğrudan substrata yönlendirir. Enerji yüzeye çarptığında anında emilir. Burada bahsedilen süreler milisaniyelerdir, dakikalar değil. Büyük fanlar ve havalandırma sistemlerinin getirdiği tüm zorluklardan kurtulmuş olursunuz. İşlem çok daha hızlı gerçekleşir.
Daha fazla alan, daha fazla parça
Zorunlu hava akışını ortadan kaldırdığınızda, mekan daha kullanışlı hale gelir. İşleri stabil tutmak için devasa, yalıtımlı fırınlara veya gürültülü fanlara ihtiyaç duymazsınız. Ayrıca, kızılötesi cihazlar sayesinde waferin belirli bölgelerini hassas bir şekilde ısıtabilirsiniz. Bu sayede hava ile ulaşılamayan bir hassasiyet elde edersiniz. Isıyı çok daha hızlı artırıp azaltabileceğiniz için “bekleme süreci” sona erer. Böylece üretim hızınız artar, çünkü boşa zaman harcamazsınız.
Eksileri (çünkü her zaman bir eksiklik vardır)
Kızılötesi ısıtma oldukça güçlüdür. Isı çok doğrudan olduğundan dikkatli olmak gerekir. Eğer cihazlar doğru şekilde ayarlanmazsa, aşırı ısınma sorunları ortaya çıkabilir. Sadece donanımı değiştirerek sorunu çözemeyebilirsiniz. Sensörlerin yerlerini yeniden düşünmeniz gerekebilir. Eğer soğutma sistemi bu hızlı ısı değişimlerine ayak uyduramazsa, substrat deform olabilir.
Ancak üretim sürelerini kısaltmak isteyen işletmeler için bu en iyi çözümdür. Bu yöntem, tüm odayı ısıtmak ile sadece bir ışık kaynağı kullanmak arasındaki fark gibidir. Böylece parçalarınızı çok daha hızlı şekilde hazırlayıp teslim edebilirsiniz.