Memastikan Pemanasan Wafer yang Betul
Jika anda pernah berada di bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarnya tugas ini. Anda memerlukan sistem pemanasan yang dapat menghasilkan suhu yang seragam di seluruh permukaan wafer. Namun, anda juga perlu elakkan sebarang kotoran yang boleh merosakkan proses pemanasan tersebut. Ia merupakan situasi yang sangat sensitif. Kebanyakan orang menggunakan reflektor aluminium sebagai penyelesaian, tetapi masalahnya ialah reflektor ini menyerap terlalu banyak tenaga inframerah. Ini bermakna anda membayar untuk tenaga yang sebenarnya tidak sampai ke wafer.
Itulah sebabnya lapisan emas digunakan sebagai penyelesaian.
Mengapa Emas?
Walaunya kedengaran mewah, tetapi sebenarnya ia berkaitan dengan prinsip fizik. Emas mampu memantulkan kira-kira 98% daripada sinar inframerah berfrekuensi tinggi. Bayangkanlah, daripada tenaga haba tersia-sia, lapisan emas akan memantulkan foton-foton tersebut terus ke wafer. Dengan cara ini, anda akan mendapat haba yang mencukupi di tempat yang diperlukan, tanpa perlu meningkatkan kuasa pemanasan. Ia sangat efisien.
Menguruskan Haba
Inilah bahagian yang paling rumit. Lampu inframerah berkuasa tinggi menghasilkan haba yang sangat tinggi. Jika geometri reflektor tidak tepat walaupun hanya beberapa milimeter, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Kawasan yang terlalu panas ini akan menyebabkan wafer menjadi cacat.
Untuk memastikan kebersihan, kami menggunakan lampu kuarsa yang berkualiti tinggi. Tiada gas yang keluar, dan tiada kotoran yang terhasil. Namun, perlu juga memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Memandangkan reflektor emas menghasilkan banyak haba, bahagian belakang lampu juga boleh menjadi sangat panas. Jika sistem ventilasi tidak berfungsi dengan baik, ia boleh merosakkan sensor haba atau peralatan elektronik di sekelilingnya.
Pelaksanaan dalam Dunia Sebenar
Dalam operasi sehari-hari, yang penting ialah penyesuaian yang tepat. Kami merancang produk ini agar mudah digunakan sebagai pengganti lampu lama. Anda hanya perlu sambungkannya ke sistem kawalan yang ada, dan semuanya akan berjalan lancar. Masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan juga akan lebih cepat.
Namun, ada satu perkara yang perlu diingat: emas sangat sensitif terhadap cap jari. Jika ada minyak dari kulit yang melekat pada lapisan emas tersebut, ia akan terbakar semasa proses pemanasan. Ini akan menyebabkan kesan gelap yang kekal, yang seterusnya akan merosakkan keseragaman suhu pemanasan. Jadi, sila pastikan lapisan emas tersebut sentiasa bersih.