Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Pembuatan Semikonduktor: Mari Bincangkan tentang Proses Pengeringan
Sejujurnya, kilang pembuatan semikonduktor merupakan pengguna tenaga yang sangat tinggi. Sebahagian besar tenaga tersebut digunakan untuk proses pengeringan, di mana usaha dilakukan untuk menghilangkan kelembapan dari wafer tanpa merosakkannya akibat haba atau kotoran. Jika kita ingin mencapai sasaran neutral karbon, kita tidak boleh terus menggunakan cara lama. Di sinilah penggunaan pemanasan inframerah (IR) memainkan peranan penting.
Realiti Audit Tenaga menggunakan IR
Proses pengeringan secara konvensional sebenarnya sama seperti cuba memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan satu hidangan makanan sahaja. Ia merupakan pembaziran tenaga. Pemanasan IR pula berbeza kerana ia menghantar tenaga secara langsung ke permukaan wafer.
Ketika kita melakukan audit terhadap proses pengeringan, kita perlu mencari “padanan spektrum” yang sesuai. Bayangkanlah seperti menala radio. Gelombang inframerah jarak pendek mampu menembusi kedalaman wafer, manakala gelombang sederhana hanya berkesan pada permukaannya sahaja. Jika intensiti cahaya lampu sepadan dengan apa yang diserap oleh wafer, maka tidak perlu lagi menggunakan tenaga secara berlebihan.
Mengurangkan Penggunaan Ruang
Penggunaan lampu IR berkepadatan tinggi bukan sahaja dapat menjimatkan tenaga, tetapi juga ruang. Sistem ini dapat beroperasi dengan cepat. Tidak perlu lagi membiarkan mesin beroperasi pada suhu tinggi untuk waktu yang lama. Selain itu, dengan penggunaan sistem pengawalan suhu yang tepat, suhu di seluruh permukaan wafer dapat dikawal dengan baik. Tidak perlu lagi melakukan proses pemprosesan yang berlebihan demi keselamatan.
Kelemahan Penggunaan IR
Namun, ada juga kelemahan. Lampu berkuasa tinggi memang memberikan kelajuan yang tinggi, tetapi ia juga memberi beban yang besar kepada sistem elektrik. Anda perlu memastikan panel elektrik anda mampu menanggung beban tersebut tanpa mengalami masalah. Selain itu, haba yang dihasilkan oleh lampu ini sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak cukup efektif, ia boleh merosakkan komponen mesin. Ini merupakan risiko yang perlu diambil kira.
Pada akhirnya, yang paling penting adalah penggunaan tenaga per wafer. Dengan menggantikan pemanas lama dengan sistem IR yang lebih efektif, penggunaan tenaga dapat dikurangkan. Ini merupakan cara yang mudah untuk mencapai matlamat pengurangan karbon tanpa melambatkan proses pengeluaran.