마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터

On a Micro LED 라인에서 건조는 “쉬는 시간”이 아니라 다룰 수 없는 수율 레버입니다. 포토레지스트 소프트 베이크 또는 세정 후 건조 중 온도 변동은 라인폭을 목표에서 벗어나게 하고, 잔여물을 남기며, 입자 수를 증가시킵니다. 히터가 미끄러지면 스케줄러가...