Mengurangi Emisi Karbon di Pabrik Semikonduktor: Mari Bicara tentang Proses Pengeringan
Sejujurnya, pabrik semikonduktor merupakan pengguna energi yang sangat besar. Sebagian besar energi tersebut digunakan untuk proses pengeringan, yaitu upaya untuk menghilangkan kelembapan dari wafer tanpa merusaknya akibat panas atau kotoran. Jika kita ingin mencapai tujuan netral karbon, kita tidak bisa terus menggunakan metode lama. Inilah saatnya menggunakan teknologi pemanasan inframerah (IR).
Realitas audit energi menggunakan teknologi IR
Metode pengeringan konvensional sebenarnya sama saja dengan upaya memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan satu piring makanan saja. Itu merupakan pemborosan energi. Teknologi IR mengubah situasi ini, karena energi disalurkan langsung ke permukaan wafer.
Ketika kita melakukan audit terhadap proses pengeringan, kita mencari “kesesuaian spektral” antara sumber energi dan wafer. Bayangkanlah ini seperti menyetel radio: gelombang inframerah pendek mampu menembus lebih dalam, sedangkan gelombang inframerah sedang hanya berpengaruh pada permukaan wafer. Jika puncak spektrum cahaya sesuai dengan apa yang diserap oleh wafer, maka energi tidak akan terbuang sia-sia.
Mengurangi penggunaan ruang
Mengganti pemanas konvensional dengan lampu IR berteknologi tinggi tidak hanya membantu menghemat energi, tetapi juga menghemat ruang. Sistem ini dapat dihidupkan dengan cepat. Anda tidak perlu membiarkan mesin beroperasi dalam suhu tinggi selama berjam-jam. Selain itu, dengan pengaturan suhu yang tepat, Anda dapat mengendalikan suhu di seluruh permukaan wafer dengan sempurna. Tidak perlu lagi melakukan proses pengeringan yang berlebihan hanya untuk “keamanan”.
Kekurangan penggunaan teknologi IR
Namun, ada beberapa kelemahan. Lampu IR berdaya tinggi memang memberikan kecepatan yang tinggi, tetapi juga memberikan beban berat pada jaringan listrik. Anda perlu memastikan bahwa panel listrik Anda mampu menahan beban tersebut tanpa terjadi gangguan. Selain itu, lampu IR menghasilkan panas yang sangat tinggi. Jika sistem pendinginan Anda tidak memadai, chasis mesin bisa rusak. Ini merupakan risiko yang serius jika Anda tidak memperhatikan aliran udara.
Pada akhirnya, yang penting adalah jumlah energi yang digunakan per wafer. Dengan mengganti pemanas konvensional dengan lampu IR yang sudah disesuaikan, penggunaan energi akan berkurang. Ini merupakan cara yang efektif untuk menjadi lebih ramah lingkungan tanpa menghambat proses produksi.