Di area produksi, Anda tahu bagaimana keadaannya. Jika suhu yang diperlukan untuk proses pengerasan bahan perekat tidak sesuai spesifikasi, maka hasil produksi akan menjadi tidak memuaskan. Fluktuasi suhu tidak hanya menyebabkan pemborosan bahan, tetapi juga mengurangi efisiensi proses litografi dan pengemasan selanjutnya. Kita membutuhkan sistem pengerasan yang mampu menjaga suhu tetap konstan, bukan menjadi faktor variabel yang perlu diperhatikan.
Apa yang penting dalam sistem ini? Kami merancang sistem pengerasan ini agar suhu di seluruh permukaan substrat tetap stabil, yaitu sekitar ±0,1°C. Sistem ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Modul pemanas menggunakan sinar inframerah berfrekuensi tinggi, dengan sistem pengukuran suhu yang akurat, sehingga suhu yang diinginkan dapat diketahui secara tepat, bukan hanya diperkirakan berdasarkan sensor di dalam ruangan.
Jumlah partikel yang dihasilkan tetap di bawah 1 partikel/ft³ pada ukuran 0,1 μm. Jalur aliran udara dirancang sedemikian rupa agar tidak terjadi turbulensi yang dapat mengganggu proses pengerasan bahan perekat. Tingkat repetibilitas proses ini mencapai ≤0,2% setelah 10.000 siklus, karena dalam industri semikonduktor, fluktuasi suhu sama sekali tidak diperbolehkan.
Mengapa sistem ini cocok untuk proses pengerasan bahan perekat? Bahan perekat dalam proses pengerasan membutuhkan suhu yang tepat. Jika suhu terlalu rendah, ikatan antar molekul bahan perekat tidak akan sempurna. Sebaliknya, jika suhu terlalu tinggi, gas yang dihasilkan akan mengotori permukaan bahan perekat. Sistem kami mampu mengontrol suhu secara tepat, sehingga proses pengerasan berjalan sesuai spesifikasi yang ditentukan oleh produsen bahan perekat.
Hal ini berarti ada lebih sedikit kesalahan dalam proses produksi, kekuatan ikatan antar komponen tetap konsisten, dan proses pengerasan tidak menjadi hambatan. Konsumsi energi pun berkurang sebesar 20–30% dibandingkan dengan oven konvensional. Waktu proses pengerasan juga berkurang, karena massa termal yang digunakan rendah dan respons kontrolnya cepat.
Apa yang perlu dipersiapkan sebelumnya? Sistem ini dirancang untuk diintegrasikan ke dalam lini produksi otomatis. Namun, sistem ini membutuhkan pasokan daya yang stabil dengan kadar gangguan listrik yang rendah, serta sistem pembuangan udara yang efektif agar kualitas partikel tetap terjaga. Sistem ini tidak bisa langsung digunakan dengan peralatan lama, kecuali jika antarmuka pengelolaan dan pengeluaran udara sudah sesuai.
Rencanakan penyesuaian sistem ini berdasarkan prosedur yang sudah ada, dan uji coba sistem ini menggunakan formulasi bahan perekat yang spesifik. Perilaku eksotermik bahan perekat berbeda-beda tergantung pada jenis kimianya.