अपने उपकरणों को पिघलने से बचाएं: वेफरों को गर्म करने का बेहतर तरीका
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर वेफरों को गर्म करने हेतु इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम का उपयोग किया है, तो आपको इसकी कठिनाइयों का अंदाजा होगा। वास्तव में, वेफर को गर्म करना तो आसान है… लेकिन समस्या तो इस बात में है कि आपके महंगे उपकरणों को उस अतिरिक्त ऊष्मा से कैसे बचाया जाए।
सामान्य इन्फ्रारेड लैंप, ऊर्जा को हर दिशा में भेजते हैं। यदि ऐसा ही होता रहे, तो प्रोसेस चैंबर की आंतरिक दीवारें जलने लगेंगी… यह न केवल मशीन के पास खड़े व्यक्तियों के लिए खतरनाक है, बल्कि यह उपकरणों की संरचना को भी नष्ट कर सकता है।
ऊष्मा को केंद्रित करना
हम इस समस्या को दिशात्मक इन्फ्रारेड तकनीक के उपयोग से हल करते हैं। हम केवल क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग नहीं करते, बल्कि परावर्तकों या विशेष कोटिंगों का उपयोग करके ऊर्जा को ठीक उसी जगह पहुँचाते हैं, जहाँ इसकी आवश्यकता है… यानी वेफर पर।
इसे ऐसे ही समझें… जैसे कि आप साधारण बल्ब के बजाय टॉर्च का उपयोग कर रहे हैं। बीम को संकीर्ण करके, हम उस “अनावश्यक” ऊष्मा को दीवारों पर पड़ने से रोकते हैं… ऊष्मा तो केवल वेफर पर ही रहती है, और मशीन का बाकी हिस्सा ठंडा ही रहता है।
सही दूरी निर्धारित करना
लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी को सही रखना थोड़ा कठिन है। यदि लैंप बहुत नजदीक हो, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाएंगे… और यदि लैंप बहुत दूर हो, तो ऊर्जा बर्बाद हो जाएगी। हम आमतौर पर लैंप की शक्ति एवं चैंबर की दीवारों की प्रतिक्रिया को देखकर ही सही दूरी निर्धारित करते हैं।
यह एक संतुलन की समस्या है… यदि लैंप बहुत नजदीक हो, तो वेफर जल्दी ही गर्म हो जाएगा… लेकिन इससे कूलिंग सिस्टम पर भी बहुत दबाव पड़ेगा। यदि कूलिंग सिस्टम ऊष्मा को संभाल नहीं पाता, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएंगे।
सुरक्षा
दिशात्मक हीटिंग का सबसे अच्छा पहलू यह है कि उपकरण का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है… इसलिए आप इसे छू सकते हैं, बिना डरने के।
इसका मतलब है कि आपको उन मोटे थर्मल शील्डों की आवश्यकता ही नहीं है… ऐसे में आपका उपकरण अधिक साफ दिखेगा, एवं आपका कार्यस्थल भी अधिक सुरक्षित रहेगा।
बस एक बात… जितनी अधिक ऊर्जा को केंद्रित किया जाता है, उतनी ही अधिक सावधानी बरतने की आवश्यकता होती है… यदि लैंप थोड़ा भी इधर-उधर हो जाए, तो ऊष्मा वेफर से हटकर कहीं और जा सकती है… इसलिए लैंप को सीधा ही रखें… तभी ही यह ठीक से काम करेगा।