300mm लाइन पर, ashing सिर्फ एक “burn-off” नहीं है। यह एक सटीक तापीय बजट प्रबंधन है। स्ट्रिप के बाद बचा हुआ फोटोरेसिस्ट अवशेष अगली लिथोग्राफ़ी परत में छाया की तरह प्रवेश कर सकता है, और अगर ताप 균लित नहीं है, तो थर्मल रनअवे का खतरा होता है जो आपकी उत्पादन दर को प्रभावित करेगा। हमने अपने infrared ashing मॉड्यूल इस वास्तविकता में काम करने के लिए डिजाइन किए हैं।
तकनीकी रूप से महत्वपूर्ण बातें
Infrared आपको तेज़, संपर्क रहित ऊर्जा प्रदान करता है जो अवशोषण के साथ समायोजित होती है, न कि थोक तापमान के साथ। हमारे short-wave infrared emitters, एक quartz-प्रेरित तापीय डिजाइन के साथ संयोजित, पूरे प्रक्रिया विंडो पर wafer-स्तर की समानता ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं। यह सिस्टम उस स्थिरता को सेटपॉइंट्स पर बनाए रखता है जिनका आप फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग के लिए वास्तविक उपयोग करते हैं, और पुनरावृत्ति इतनी कसी होती है कि critical dimension नियंत्रण अप्रभावित रहता है।
Cleanroom अनुकूलता कोई बाद की सोच नहीं है। हम कम-गैस उत्सर्जन करने वाली सामग्री, सील्ड जंक्शनों, और एक पार्टिकल-कंट्रोल्ड पथ का उपयोग करते हैं ताकि पार्टिकल काउंट Class 1–100 अपेक्षाओं के भीतर रहे। इसका परिणाम अनुमानित स्ट्रिप प्रोफाइल, लगातार हटाने की दरें, और अधोमुखी फिल्म पर न्यूनतम तापीय तनाव होता है।
फ़र्श पर यह क्यों काम करता है
Ashing में समय समानुपाती है उत्पादन दर से। तेज़ ramp-up साइकिल समय को कम करता है, लेकिन केवल तब जब ताप नियंत्रण स्थिर रहे। Infrared हीटिंग सीधे रिसिस्ट को गर्म करती है, इसलिए चैम्बर और कैरियर ठंडे रहते हैं और तापीय क्रॉस-टॉक कम होता है। इसका मतलब कम विचलन, कम स्क्रैप, और शिफ्ट दर शिफ्ट स्थिर थ्रूपुट होता है।
ऊर्जा की खपत कम होती है क्योंकि ऊर्जा वहीं जाती है जहाँ ज़रूरत होती है—wafer पर—ना कि हीटिंग फिक्स्चर पर। विश्वसनीयता का आधार अपटाइम होता है: मॉड्यूल 24/7 चलते हैं, निर्धारित रखरखाव विंडो के साथ, और हजारों वाफर्स में आउटपुट स्पेसिफिकेशन के भीतर रहता है।
आपको क्या जानना चाहिए
Infrared ashing emitter से wafer की दूरी और फिल्म स्टैक्स में उत्सर्जन भिन्नता के प्रति संवेदनशील होता है। स्थापना में एक निश्चित गैप लॉक करना होता है, और आपको अपनी स्टैक के अनुसार कैलिब्रेशन रेसिपी चाहिए होती है। सेटपॉइंट्स को ठीक करने और लॉट्स में समानता की पुष्टि के लिए एक संक्षिप्त कमीशनिंग अवधि अपेक्षित होती है।
एक बार कैलिब्रेट होने के बाद, प्रक्रिया स्थिर रहती है—लेकिन इसे एक नियंत्रित पैरामीटर की तरह देखें, न कि एक सभी के लिए समान डिफॉल्ट के रूप में।