अपने फैक्ट्री में ओजोन के उत्पादन को रोकें!
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर निर्माण हेतु इस्तेमाल होने वाले क्लीनरूमों में समय बिताया है, तो आपको पता ही होगा कि वहाँ नियंत्रित तापमान आवश्यक होता है… इसलिए वहाँ शॉर्टवेव आईआर लैंपों का उपयोग किया जाता है। लेकिन इन लैंपों से वैक्यूम यूवीए विकिरण निकलता है… जिससे हवा में मौजूद ऑक्सीजन ओजोन में बदल जाती है।
ओजोन तो वाकई एक बड़ी समस्या है… यह कार्बनिक पदार्थों को नष्ट कर देता है… इसलिए हवा को शुद्ध रखने एवं वेफरों को साफ रखने हेतु बड़े ऊर्जा-खपत वाले सिस्टमों का उपयोग करना पड़ता है… यह तो एक लगातार चलने वाली समस्या है। हमने एक बेहतर तरीका खोजा है… ऐसे आईआर लैंप जो ओजोन ही नहीं बनाते।
यह कैसे काम करता है?
सामान्य क्वार्ट्ज लैंप 200 नैनोमीटर से कम तरंगदैर्घ्य वाली किरणें उत्सर्जित करते हैं… ऐसी किरणें $\text{O}_2$ अणुओं से टकरकर ओजोन बनाती हैं।
इसे रोकने हेतु हम विशेष यूवी-अवरोधक कोटिंग या डोप्ड क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… यह तो एक फिल्टर की तरह ही काम करता है… यह वैक्यूम यूवी विकिरण को रोक देता है, लेकिन ऊष्मा उत्पन्न करने वाली आईआर किरणों को तो आसानी से आने देता है… इससे आपको आवश्यक ऊष्मा मिलती है… लेकिन कोई रासायनिक प्रभाव नहीं होता।
इसे अपनी फैक्ट्री में कैसे इस्तेमाल करें?
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से पुराने लैंपों की जगह लगाया जा सके… यदि आपके पास पहले से ही क्यूरिंग/बेकिंग ओवन हैं, तो आप बस उन लैंपों को बदल दें… और उन्हें अपने मौजूदा कंट्रोलर से जोड़ दें।
लेकिन ऊर्जा संबंधी बातों पर ध्यान देना आवश्यक है… ये लैंप बहुत अधिक ऊर्जा खपत करते हैं… इसलिए आपके इलेक्ट्रिकल पैनलों को इस ऊँची ऊर्जा-मांग को संभालने में सक्षम होना आवश्यक है… आप तो ऐसी स्थिति में नहीं रहना चाहेंगे… जब प्रक्रिया के दौरान ही ब्रेकर टूट जाए।
“हरित” पहलू
यहाँ वास्तविक लाभ तो केवल रासायनिक पहलुओं से ही नहीं… बल्कि ऊर्जा-खपत संबंधी पहलुओं से भी है… जब ओजोन का उत्पादन बंद हो जाता है, तो आप उन ऊर्जा-खपत वाले फैनों को बंद कर सकते हैं… इससे बड़ी मात्रा में ऊर्जा बच जाती है… यह तो एक बड़ा लाभ ही है।
यह तो एक सरल विकल्प है… जिससे प्रति वेफर उत्पादन हेतु आवश्यक ऊर्जा कम हो जाती है… आपकी फैक्ट्री साफ रहती है… आपकी ऊर्जा-लागत कम हो जाती है… और आपको उत्पादन दर कम करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… यह तो हर दृष्टि से एक बड़ी जीत ही है।