Réduire les émissions de carbone dans les usines de semi-conducteurs : parlons du séchage des wafer
soyons honnêtes : les usines de semi-conducteurs consomment énormément d’énergie. Une grande partie de cette énergie est utilisée pour le séchage des wafer, où il s’agit d’éliminer l’humidité sans endommager les wafer par trop de chaleur ou de saletés. Si vous souhaitez atteindre des objectifs de neutralité carbone, vous ne pouvez pas continuer à utiliser les méthodes traditionnelles. C’est là que l’éclairage infrarouge entre en jeu.
La réalité des audits énergétiques avec l’éclairage infrarouge
Le séchage par convection traditionnelle, c’est comme essayer de chauffer toute une maison simplement pour réchauffer un seul plat. C’est un gaspillage d’énergie. L’éclairage infrarouge change la donne, car il dirige l’énergie directement vers la surface du wafer.
Lorsque nous effectuons un audit d’une ligne de séchage, nous cherchons à trouver une correspondance spectrale entre l’énergie émise et celle absorbée par le wafer. Pensez-y comme à la mise en tune d’une radio : les ondes infrarouges courtes pénétrent profondément dans le wafer, tandis que les ondes moyennes restent à sa surface. Si le pic d’énergie émis par la lampe correspond à celui absorbé par le wafer, on évite ainsi de gaspiller de l’énergie inutilement.
Réduction de l’espace nécessaire
Le passage à des lampes infrarouges à haute densité permet non seulement d’économiser de l’énergie, mais aussi de gagner de l’espace. Ces systèmes se mettent en marche très rapidement. Il n’est donc pas nécessaire de laisser la machine fonctionner à haute température pendant des heures avant de pouvoir commencer à travailler. De plus, grâce à une répartition précise de l’énergie infrarouge, on peut contrôler parfaitement la température sur toute la surface du wafer. Plus besoin de surtraiter les wafer juste pour être “sûrs”.
Les compromis (car rien n’est gratuit)
Cependant, il y a des risques. Les lampes à haute puissance permettent une vitesse de traitement élevée, mais elles exercent une forte pression sur le réseau électrique. Il est donc nécessaire de vérifier que les panneaux électriques peuvent supporter cette charge initiale sans tomber en panne. De plus, ces lampes génèrent beaucoup de chaleur. Si les ventilateurs ou les dissipateurs de chaleur ne sont pas suffisants, cela peut endommager le châssis de l’appareil. C’est un vrai risque si l’on ne prend pas en compte correctement la circulation de l’air.
En fin de compte, ce qui importe, c’est le nombre de kWh consommés par wafer. En remplaçant les anciennes lampes par des systèmes infrarouges bien calibrés, on réduit considérablement la consommation d’énergie. C’est une manière simple de devenir plus écologique, sans ralentir la production.