تنظیم صحیح دمای ویفر
اگر تجربه کار در اتاقهای پاکسازی نیمههادی را داشتهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. شما باید اطمینان حاصل کنید که گرمایش ویفر به طور یکنواخت انجام شود؛ اما در عین حال نمیخواهید هیچ نوع آلودگیای مانع این کار شود. این کار واقعاً چالشبرانگیز است. اکثر افراد از منعکسکنندههای آلومینیومی استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این منعکسکنندهها مقدار زیادی از تشعشعات مادون قرمز را جذب میکنند. در واقع، شما برای انرژیای پول پرداختهاید که اصلاً به ویفر نمیرسد.
در اینجاست که روکشهای طلایی وارد عمل میشوند.
چرا طلا؟
شاید این موضوع عجیب به نظر برسد، اما در واقع موضوع فقط مربوط به فیزیک است. طلا حدود ۹۸ درصد از تشعشعات مادون قرمز را منعکس میکند.
به این ترتیب، به جای اینکه گرما وارد بدنه لامپ شود و انرژی هدر برود، لایه طلا این فوتونها را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکند. در نتیجه، گرمای بیشتری در دقیقاً همان محلی که نیاز دارید، تولید میشود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد. این روش بسیار کارآمد است.
مدیریت گرما
این بخش، بخش چالشبرانگیز تری است. لامپهای مادون قرمز با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اگر زاویه منعکسکنندهها حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط داغی ایجاد خواهد شد؛ و این نقاط داغ، باعث تغییر شکل ویفر میشوند.
برای حفظ پاکیزگی، از لامپهای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ هیچ گونه گازی تولید نمیشود و هیچ آلودگیای وجود ندارد.
اما باید مراقب سیستم خنککننده نیز باشید؛ زیرا منعکسکنندههای طلایی، انرژی زیادی را به سمت ویفر هدایت میکنند، بنابراین پشت بدنه لامپ نیز میتواند بسیار داغ شود. اگر سیستم تهویه کافی نباشد، سنسورهای حرارتی خراب خواهند شد، یا حتی الکترونیکهای اطراف نیز آسیب خواهند دید.
نحوه استفاده در واقعیت
در محیط کار، مهمترین چیز، هماهنگی اجزاست. ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ بنابراین نیازی به توقف کار برای تعویض لامپها نیست. کافی است آنها را به کنترلرهای موجود متصل کنید و کار شروع خواهد شد.
متوجه خواهید شد که زمان رسیدن به دمای مورد نظر، بسیار کمتر خواهد بود.
اما یک هشدار: طلا از اثر انگشتها متنفر است! اگر روغن پوستی روی این روکش باقی بماند، در حین فرآیند گرمایش، آن ناحیه خراب خواهد شد؛ این امر باعث ایجاد لکههای تیره دائمی میشود که یکنواختی دمایی را از بین میبرد. پس، لطفاً این لامپها را تمیز نگه دارید.