Hören Sie auf, Zeit mit langsamer Erwärmung zu verschwenden – warum ist Vakuumbestrahlung die bessere Lösung?
Wenn Sie auf heiße Luft angewiesen sind, um etwas in einem Vakuum in Bewegung zu bringen, haben Sie vermutlich bereits ein Problem festgestellt: Die Konvektion funktioniert einfach nicht, wenn es keine Luft gibt, die sich bewegen kann. Dadurch entsteht ein langsamer, indirekter Heizprozess, der ewig dauert und den Prozess der Halbleiterverarbeitung zum Engpass macht.
Das ist frustrierend – man muss einfach nur abwarten, bis die Ausrüstung wieder in Gang kommt.
Doch wenn man auf vakuumkompatible Infrarotheizer umstellt, ändert sich alles. Man muss nicht mehr versuchen, den leeren Raum zu erhitzen, sondern direkt das Substrat selbst. Es handelt sich dabei im Grunde um eine sofortige Erhöhung der Temperatur. Anstatt darauf zu warten, dass ein Gas sich erwärmt, senden Infrarotheizer elektromagnetische Strahlung direkt in das Material. Das bedeutet, dass die gewünschte Temperatur in Sekunden erreicht wird – nicht in Minuten. Für Betriebe, die möglichst viele Wafer verarbeiten möchten, ist das ein riesiger Vorteil. So wird die „totale Zeit“, die normalerweise für die Erwärmung benötigt wird, eingespart.
Es handelt sich dabei jedoch nicht einfach nur um eine „Plug-and-Play“-Lösung. Man muss auch auf die thermischen Effekte achten. Da Infrarotheizer viel Wärme in einer kleinen Fläche konzentrieren, kann das problematisch sein. Wenn man nicht vorsichtig ist, kann die Strahlung von den Wänden der Kammer reflektiert werden und die Sensoren beschädigen. Man sollte also sicherstellen, dass die Kühlsysteme tatsächlich geeignet sind, bevor man den Heizer einschaltet.
Wir haben außerdem viel Zeit investiert, damit unsere Lampen keine Störungen verursachen. Im Vakuum kann jede kleine Verunreinigung dazu führen, dass eine Siliziumwafer beschädigt wird. Deshalb umhüllen wir die Heizelemente – damit es keine Probleme mit Abbruchstellen oder Partikeln gibt.
Der eigentliche Vorteil liegt jedoch in der Kontrolle. Wenn man auf gezwungene Luftzirkulation verzichtet, entfällt diese störende thermische Trägheit. Man kann die Temperatur genau dann erhöhen oder senken, wann man will. Für die Ingenieure bedeutet das eine genauere Steuerung des Prozesses – und weniger Ausschussprodukte.
Wenn Sie weiterhin mit Zirkulationsheizern in einem Vakuumumfeld arbeiten, verlieren Sie vermutlich jeden Woche Stunden an Produktionszeit. Warum das in Kauf nehmen? Wechseln Sie auf Infrarotheizer und erledigen Sie die Arbeit schneller.