Auf der Produktionsebene reicht bereits eine Abweichung von einer halben Grad bei der Backtemperatur aus, damit das Profil des Fotoresists von gut auf unbrauchbar wird. Wenn man die Produktqualität schützen möchte, darf die thermische Steuerung nicht als nachgelagerte Maßnahme betrachtet werden – sie muss vielmehr wie ein echter Prozessparameter behandelt werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben diesen PID-gesteuerten Halbleiterheizer so konstruiert, dass er eine geschlossene Regelungskette verwendet, die für Lithografie-Backstationen optimiert ist. So bleibt die Homogenität auf der aktiven Oberfläche des Wafers bei ±0,1 °C – und das auch von Zyklus zu Zyklus. Der Heizkörper ist für Reinraumbedingungen der Klassen 1–100 geeignet; die verwendeten Materialien und Oberflächen sorgen dafür, dass es keine Partikelbildung gibt. Der Heizer ist so konzipiert, dass er 24/7 ohne unplanmäßige Ausfälle arbeiten kann. Die Temperaturstabilität sorgt dafür, dass die Temperaturen innerhalb der Toleranzen des Fotoresists bleiben.
Warum das wichtig ist
Bei der „Soft Bake“- und „Hard Bake“-Prozedur werden die Dimensionen und Profile des Fotoresists festgelegt. Mit diesem Heizer wird die Präzision der Backtemperatur erhöht – dadurch entfallen mehrere Nacharbeitsgänge, und die Prozesswiederholbarkeit bleibt hoch. Dadurch wird auch die Kontrolle der kritischen Dimensionen verbessert, und es kommen weniger Abweichungen durch thermische Schwankungen vor.
Schnelle Temperaturanpassung sowie minimale Überschreitungen der Zieltemperatur sorgen außerdem dafür, dass der Energieverbrauch gering bleibt. Zudem verkürzen sich die Wartungsintervalle, da das Design dazu beiträgt, Wärmebelastungen zu vermeiden, die dazu führen könnten, dass die Komponenten ihre Funktion verlieren.
Ein paar praktische Hinweise
Das System lässt sich problemlos integrieren – doch die PID-Einstellungen müssen an die Eigenschaften Ihres Ofens, den Luftstrom sowie die Rampenprofile angepasst werden. Geben Sie uns Ihr genaues Backprofil – Geschwindigkeit der Temperaturerhöhung, Einwirkzeit sowie Abfolge der Zieltemperaturen – damit die Steuerparameter auf Ihre Ausrüstung abgestimmt werden können.
Sobald das System in Betrieb ist, sollten Sie das Kalibrierungsprogramm des Sensors mit Ihrem Präventivwartungsplan abstimmen. So können Sie die Versprechen bezüglich einer Genauigkeit von ±0,1 °C Tag für Tag einhalten.