Hören Sie auf, Wärme in der Glovebox zu verschwenden!
Wenn Sie schon einmal Wafer in einer Glovebox erhitzt haben, kennen Sie das Problem. Man gibt Energie in Form von Wattstunden hinzu – doch ein großer Teil dieser Energie geht einfach verloren. Die meisten herkömmlichen IR-Elemente strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Das bedeutet, dass die Hälfte der Energie dazu dient, die Wände der Kammer zu erwärmen, anstatt das Substrat selbst. Das ist eine Verschwendung.
Deshalb haben wir reflektierende Elemente mit Goldbeschichtung direkt in die Heizeinheit eingebaut.
Warum Gold?
Es geht nicht um den Glanz des Goldes. Gold ist hervorragend darin, Infrarotlicht zu reflektieren. Durch die Verwendung einer dünnen Schicht Gold auf dem Reflektor können wir die entweichenden Photonen wieder zurückreflektieren. Dadurch wird das gestreute Licht in einen gezielten Strahl umgewandelt. So erreichen Sie eine viel höhere Hitze auf dem Wafer – ohne dass man die Leistung erhöhen muss. Im Grunde verwandelt man damit ein unpräzises Werkzeug in ein präzises Instrument.
Umgang mit der Wärme
Der Vorteil ist, dass die Wärme sehr schnell verteilt wird. Da die Energie konzentriert wird, verkürzen sich die Aufwärmzeiten erheblich. Man erreicht schnell die gewünschte Temperatur und kann mit der Arbeit fortfahren.
Aber Achtung: So hohe Leistungen an einem Ort bedeuten, dass man vorsichtig sein muss. Wenn der Wafer besonders dünn ist oder der Abstand zwischen den Elementen zu gering ist, können Hotspots entstehen. Überprüfen Sie daher unbedingt die Einstellungen des PID-Reglers, damit Sie nicht die gewünschte Temperatur überschreiten und etwas beschädigen.
Einbau
Wir wissen, dass Gloveboxes oft eng sind. Deshalb haben wir diese Reflektoren so gestaltet, dass sie klein und einfach einzubauen sind – im Prinzip Ersatzteile für die bereits vorhandenen IR-Elemente.
Und es gibt noch einen weiteren Vorteil: Da das Gold die Hauptaufgabe übernimmt, kann man die Lampen oft mit einer geringeren Leistung betreiben, um das gleiche Ergebnis zu erzielen. Dadurch wird der Glühfaden weniger belastet – die Lampen gehen somit nicht so schnell kaputt.
Nur eines: Halten Sie die goldenen Oberflächen sauber. Ein wenig Staub oder Oxidation auf dem Reflektor kann die Effizienz stark beeinträchtigen. Halten Sie die Oberflächen glänzend – dann funktioniert alles weiterhin einwandfrei.