Hören Sie auf, Ihre teure Ausrüstung in eine „Ofen“-Konstruktion zu verwandeln!
Die meisten Standardheizelemente sind ziemlich unpraktisch – sie streuen die Wärme in alle Richtungen ab, also in 360 Grad. In einem Reinraum ist das ein Albtraum. Wenn die Wärme in alle Richtungen strahlt, nehmen die Innenwände der teuren Maschinen diese Wärme auf. Dadurch entstehen „heiße Wände“. Das hat zwei Nachteile: Die Mitarbeiter können sich verbrennen, und die Maschine selbst kann aufgrund der thermischen Ausdehnung beschädigt werden. Das ist wirklich nicht ideal.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie hinmuss
Wir lösen dieses Problem, indem wir direktionale IR-Lampen verwenden. Anstatt einfach nur einen Quarztuben zu verwenden und darauf zu hoffen, dass alles klappt, nutzen wir spezielle Reflektoren und Beschichtungen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt einer Glühbirne. So wird die IR-Energie direkt auf das Wafer oder Substrat gerichtet. Die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie benötigt wird. Da der Strahl eng fokussiert ist, funktioniert das Gehäuse der Maschine nicht mehr wie eine riesige „Schwammsorte“, die Wärme aufnimmt. So erreichen Sie die gewünschte Temperatur, ohne dass der Innenraum der Maschine zur Sauna wird.
Die Herausforderungen – und wie man damit umgeht
Diese Lampen sind so konzipiert, dass sie problemlos in Ihre vorhandenen Heizsysteme eingebaut werden können. Wir haben dafür gesorgt, dass sie schnell anspringen, damit Sie während des Wartens keine Produktionsverluste erleiden. Doch hier kommt das Problem: Wenn man die Wärme in einen engen Strahl bündelt, wird sie intensiv. Wenn die Lampe nur wenige Millimeter daneben steht, kann die Temperatur über dem gewünschten Wert liegen. Es handelt sich dabei um ein Präzisionsproblem. Sie müssen sicherstellen, dass Ihre PID-Steuergeräte darauf eingestellt sind, mit dieser höheren Intensität umzugehen – sonst müssen Sie ständig mit den Einstellungen kämpfen.
Ihre Mitarbeiter schützen
Letztendlich geht es bei der Kühlung der Wände nicht nur darum, Geld zu sparen. Es geht auch um die Sicherheit der Mitarbeiter. Wenn der Innenraum kühl bleibt, laufen Ihre Techniker nicht das Risiko, sich bei Wartungsarbeiten oder Notfällen zu verbrennen. Zudem muss Ihr HVAC-System nicht überlastet werden, um mit den hohen Temperaturen umzugehen. Alle atmen somit etwas leichter.