Hören Sie auf, auf den Ofen zu warten: Warum IR-Trocknung besser ist als Trocknung mit heißer Luft
Viele Halbleiterfabriken nutzen immer noch Methoden zur Trocknung und Aushärtung mit heißer Luft. Das ist eine veraltete Methode: Man bewegt etwas Luft, erhitzt sie – und hofft, dass die Wärme tief genug in das Material eindringt, um die gewünschte Wirkung zu erzielen.
Das Problem: Es ist extrem langsam. In einer Hochdruckfabrik ist das nicht nur lästig – es stellt ein großes Hindernis dar, das die Produktivität behindert.
Wir haben diese unpraktischen Systeme durch zertifizierte IR-Trocknungsanlagen ersetzt. Hier ist der Grund, warum dieser Wechsel alles verändert.
Kein Mittelsmann mehr nötig
Man muss sich vorstellen, wie heiße Luft funktioniert: Die Luft muss den Wafer berühren, die Wärme übertragen – und anschließend darauf warten, dass die Wärme in das Material eindringt. Die Luft fungiert somit als „Mittelsmann“, und Mittelsleute verlangsamen alles.
IR-Lampen umgehen diesen ganzen Prozess. Sie senden elektromagnetische Wellen aus, die direkt ins Material eindringen. Das geschieht sofort – ohne Vorheizen des Raumes oder Warten darauf, dass der Ofen die erforderliche Temperatur erreicht. Für die Techniker bedeutet das einen großen Vorteil: Die Zeit pro Einheit sinkt um 50 bis 80 Prozent – je nach Dicke des Materials sowie der gewünschten Temperatur.
Die Herausforderungen – und wie wir damit umgehen
IR-Trocknung ist zwar nicht magisch – aber sehr effektiv. Da Kurzwellenlampen viel Energie in einem kleinen Raum konzentrieren, kann es dazu kommen, dass die Oberfläche beschädigt wird, wenn die Förderbänder zu langsam sind. Man kann diese Systeme also nicht einfach so verwenden – man braucht PID-Controller, die mit den schnellen Temperaturänderungen Schritt halten können.
Außerdem bedeutet „sauber“ in einer Fabrik wirklich sauber sein. Deshalb sind unsere Quarzkapseln für einen geringen Ausstoß von Stoffen zertifiziert. Man muss sich keine Sorgen machen, dass zufällige Partikel eine Charge von Wafers zerstören könnten.
Platzsparend arbeiten
Neben der Geschwindigkeit spielt auch die Größe der Geräte eine Rolle. Heiße-Luftöfen sind in der Regel riesige Geräte, die viel Platz beanspruchen. Ein IR-Trocknungstunnel hingegen ist viel kompakter.
Wenn man die Produktion ausweiten will, kann man es sich nicht leisten, dass die Systeme mit heißer Luft zurückbleiben. Man muss einfach die IR-Anlage anschließen, die Entfernung zum Material einstellen – und schon steigt die Produktivität. Das ist eine viel effizientere Art zu arbeiten.