半导体洁净室推车式加热器

Fri, 17 Jul 2026 02:05:45 +0800

正确控制晶圆加热效果

如果您曾在半导体洁净室工作过，就会明白其中的难度。需要确保晶圆表面的加热效果均匀一致，同时又要避免任何污染因素的干扰。这真是一门艺术。大多数人最初会使用铝制反射器，但问题在于它们会吸收过多的红外辐射。实际上，您支付的费用中有一部分并没有真正用于加热晶圆上。

这时，金涂层就派上用场了。

听起来很高级，但实际上这只是基于物理原理而已。金能反射大约98%的长波红外辐射。也就是说，热量不会浪费在反射器本身上，而是直接照射到晶圆上。这样一来，您就不必增加功率就能让晶圆获得足够的热量。非常高效且简单。