اپنے ہیٹنگ عناصر کو اس بات سے روکیں کہ وہ آپ کے ویفروں کو نقصان پہنچائیں۔
اگر آپ کلاس 100 کے صاف کمرے میں کام کرتے ہیں، تو آپ کو پہلے ہی معلوم ہوگا کہ ایر فلٹرز صرف آدھا کام ہی کرتے ہیں۔ اصل مسئلہ تو ہیٹنگ عناصر ہی ہیں… یہ عناصر، جب آپ کو ان کی سب سے زیادہ ضرورت ہوتی ہے، دراصل گیسوں اور ذرات کا منبع بن سکتے ہیں۔
اسی لیے ہم اپنے IR لیمپوں میں اعلیٰ خالصیت کا سنتھیٹک کوارٹز استعمال کرتے ہیں… یہ آپ کے ویفروں پر کسی قسم کے نقصان کو روکتا ہے۔
مواد سے متعلق باتیں
دراصل، عام کوارٹز میں عموماً نجاستیں ہوتی ہیں… جب درجہ حرارت بلند ہوتا ہے، تو یہ نجاستیں بخارات کی شکل میں نکل جاتی ہیں… یہ بہت خطرناک ہے۔
لہذا ہم اعلیٰ خالصیت کا سیلیکا استعمال کرتے ہیں… تاکہ لیمپ کے اندر سے کوئی ذرات باہر نہ نکلیں… ہم یہ بھی یقینی بناتے ہیں کہ کوارٹز ان تیز درجہ حرارتوں کو برداشت کر سکے… یعنی کوئی دراڑ نہ پڑے، کوئی شیشے کے ٹکڑے نہ نکلیں، اور کوئی ننھے ذرات آپ کے پروسیس چیمبر میں نہ داخل ہوں۔
مناسب درجہ حرارت حاصل کرنا
ہم شارٹ ویو IR کا استعمال کرتے ہیں… کیوں کہ یہ ویفر کی سطح پر تیزی سے اثر کرتا ہے… جتنی جلدی درجہ حرارت بلند ہوتا ہے، ویفر کو ان انتہائی درجہ حرارتوں میں رہنے کا وقت اتنا ہی کم ہوتا ہے… یہ بہت فائدہ مند ہے، کیوں کہ اس سے ویفر پر کسی قسم کی کیمیائی ردِعمل کا خطرہ کم ہو جاتا ہے۔
یہاں درستگی بہت اہم ہے… اگر آپ 300 ملی میٹر کے آلے کا استعمال کر رہے ہیں، تو لیمپ کی لمبائی اور واٹیج کو آپ کے پاور سپلائی سے میل کھانا ضروری ہے… اگر ایسا نہ ہو، تو ویفر پر گرمی کے نقاط پیدا ہو جاتے ہیں… اور اگر آپ واٹیج کو زیادہ رکھیں، لیکن مناسب کولنگ فینز نہ ہوں، تو لیمپ کے فیلمنٹ جل جائیں گے۔
لیمپوں کو تبدیل کرنا
ہم معیاری کنکٹرز استعمال کرتے ہیں… لہذا انہیں تبدیل کرنا بہت آسان ہے… آپ کو پورے ریک کو دوبارہ وائر کرنے کی ضرورت نہیں ہے…
لیکن ایک بات کا خیال رکھیں: اعلیٰ خالصیت کا کوارٹز، جلد کے تیلوں کے لحاظ سے بہت حساس ہے… ایک ہی انگشت کا نشان بھی اسے نقصان پہنچا سکتا ہے… براہ کرم، انہیں نصب کرتے وقت بغیر بالوں والے دستانے پہنیں… اگر کوارٹز پر تیل لگ جائے، تو یہ جلد ہی خراب ہو جائے گا… یہ ایک چھوٹا سا قدم ہے، لیکن اس سے بہت پریشانیوں سے بچا جا سکتا ہے۔