http://home-ir-warmth.com/uk/tags/%D1%96%D0%BD%D1%84%D1%80%D0%B0%D1%87%D0%B5%D1%80%D0%B2%D0%BE%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Інфрачервоний on Gentle Home Infrared Warmth Hugo uk Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/uk/posts/ashing-process-heating-infrared/ Wed, 10 Jun 2026 02:14:56 +0800 http://home-ir-warmth.com/uk/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Інфрачервоний нагрівальний процес золу видалення"></p> <p>На лінії 300mm огортання — це не просто «видалення залишків». Це управління чітким тепловим бюджетом. Залишки фоторезисту після зняття плівки можуть залишати сліди на наступному шарі літографії, а якщо нагрівання відбувається нерівномірно, існує ризик теплового пробою, що призведе до втрат виходу продукції. Ми розробили наші модулі інфрачервоного огортання з урахуванням цих особливостей.</p> <p><strong>Що має значення технічно</strong><br> Інфрачервоне випромінювання дає швидке контактне подавання енергії, яке масштабується за рівнем поглинання, а не за масовою температурою. Наші короткохвильові інфрачервоні випромінювачі в поєднанні з кварц-оптимізованою тепловою конструкцією утримують однорідність на рівні пластини в межах ±0,1°C по всьому діапазону процесу. Система підтримує цю стабільність на заданих точках, які фактично використовуються для зняття фоторезисту, із повторюваністю, достатньою для збереження контролю критичних розмірів.</p> http://home-ir-warmth.com/uk/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ Tue, 09 Jun 2026 01:27:35 +0800 http://home-ir-warmth.com/uk/posts/infrared-quartz-lamp-for-wafer/ <p><img src="http://home-ir-warmth.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Інфрачервона кварцова лампа для пластини"></p> <p>На виробничій дільниці запікання фоторезиста не є «приємною опцією». Це жорстке обмеження. Зсув температури на 2°C у гарячій зоні миттєво змінює зсув критичних розмірів, і лінія не допускає тих відхилень, які раніше можна було виправдати. Ми розробили нашу кварцову лампу з інфрачервоним випромінюванням для обробки пластин відповідно до цієї реальності: температура стабільна зміну за зміною, день за днем.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Лампа використовує короткохвильове інфрачервоне кварцове випромінювання для безпосереднього нагрівання пластин і носіїв — швидке, пряме з&rsquo;єднання. Вона розроблена для повторюваності: висока термічна однорідність по всій освітленій зоні та стабільна емісивність протягом усього терміну служби лампи. Це важливо, коли тепловий бюджет у кроках запікання літографії (у тому числі soft bake і hard bake) дуже обмежений і неможливо допустити додаткове забруднення частинками. Система комфортно працює в чистих приміщеннях класу 1–100 і вписується у стандартні габарити обладнання для напівпровідників.</p>