Запчастини до нагрівача вакууму Leybold

Sat, 27 Jun 2026 02:00:31 +0800

На виробничій лінії все просто: достатньо лише 0,2°C відхилення температури на поверхні пластинки, щоб порушитися контроль товщини ліній та змінитися профіль фоторезисту. Коли нагрівач Leybold починає погано функціонувати, це призводить не лише до зниження якості продукції, а й до втрати годин на процес, який раптово стає менш ефективним. Ми створили ці запасні частини для нагрівачів Leybold, щоб повернути систему до умов роботи, передбачених її проектуванням, з можливістю точного контролю температури протягом 24/7 роботи.

Що є важливим з технічної точки зору?
Все зводиться до теплової однорідності на поверхні пластинки – необхідно підтримувати температуру в межах ±0,1°C у всій оброблюваній зоні. Такий контроль дозволяє зберігати стабільність температур під час обробки, що, у свою чергу, сприяє стабільності параметрів CD та зменшує кількість дефектів, які виникають через зміни температури. Матеріали та конструкція цих запасних частин підходять для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; вони також не виділяють частинок під час роботи. Кожна замінна частина сумісна з нагрівачем Leybold – за формою, розташуванням клем та ефективністю теплового зв’язку. Таким чином, система отримує ту саму теплову ефективність, що і оригінальний нагрівач.

Лейбольд on Gentle Home Infrared Warmth

Запчастини до нагрівача вакууму Leybold