Запобігайте пошкодженню ваших пластин від елементів нагріву
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте, що фільтри повітря можуть виконувати лише половину своїх обов’язків. Справжньою проблемою є елементи нагріву – вони можуть стати джерелом виділення газів та частинок саме тоді, коли це найменш доцільно.
Саме тому ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти для наших інфрачервоних ламп. Це допомагає запобігти потраплянню забруднень на поверхню пластин.
Про матеріали
Стандартний кварц зазвичай містить домішки. Коли температура підвищується, ці домішки випаровуються. Це не дуже добре. Ми використовуємо силікат високої чистоти, щоб оболонка лампи не починала виділяти частинки при кожній зміні температури. Також ми стежимо за тим, щоб кварц був міцно склеєний, щоб уникнути тріщин та уламків скла. Це також запобігає потраплянню мікроскопічного пилу в процесну камеру.
Правильне регулювання температури
Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне світло, оскільки воно швидко нагріває поверхню пластини. Чим швидше відбувається нагрівання, тим менше часу пластина проводить у екстремальних температурах. Це значно зменшує ризик виникнення хімічних реакцій на поверхні пластини.
Тут важлива точність. Якщо ви працюєте з інструментом діаметром 300 мм, довжина та потужність лампи повинні ідеально відповідати параметрам вашого джерела живлення. Якщо це не так, виникають „гарячі точки“. А якщо потужність лампи завищена, а для відведення тепла недостатньо вентиляторів, то нитки лампи будуть перегріватися та зношуватися значно швидше.
Заміна елементів нагріву
Ми використовуємо стандартні з’єднувачі, тож заміна елементів нагріву є досить простою. Вам не доведеться витрачати час на перепідключення всіх елементів лише для заміни зламаної лампи.
Але є одне застереження: кварц високої чистоти чутливий до шкірних олій. Один лише відбиток пальця може стати причиною пошкодження кварцу. Будь ласка, використовуйте рукавички без ворсу під час встановлення лампи. Якщо олія потрапить на кварц, він пошкодиться значно раніше, ніж нитки лампи. Це невеликий крок, який допоможе уникнути багатьох проблем.