Isıtma elemanlarının wafelerinizi bozmasını engelleyin
Eğer 100 sınıfı bir temiz oda kullanıyorsanız, hava filtrelerinin yalnızca işin yarısını çözdüğünü zaten biliyorsunuzdur. Asıl sorun ise ısıtma elemanlarıdır. Bunlar, en az ihtiyaç duyduğunuz anda gaz salınımına ve parçacık oluşumuna neden olabilirler.
İşte bu yüzden IR lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu sayede wafelerinizdeki istenmeyen maddeler ortadan kalkar.
Malzemelerle ilgili bilgiler
Standart kuvarslarda genellikle safsızlıklar bulunur. Isı arttığında bu safsızlıklar buharlaşır. Bu hiç de iyi değildir. Biz ise yüksek saflıkta silika kullanıyoruz; böylece lambanın kabuğu sıcaklık değişimlerinde parçacık salmaz. Ayrıca kuvarsin hızlı ısınma ve soğuma döngülerine dayanabilecek şekilde işlenmesine de dikkat ediyoruz. Böylece çatlama veya cam parçaları oluşmaz ve mikroskobik tozlar da işlem odasına giremez.
Doğru sıcaklığı elde etmek
Kısa dalga boylu IR ışınları kullanıyoruz; çünkü bu ışınlar wafere hızlı bir şekilde ulaşır. Ne kadar hızlı ısınırsa, waferin aşırı sıcaklıklarda kalma süresi o kadar az olur. Bu da substrat üzerinde tuhaf kimyasal reaksiyonların meydana gelme riskini azaltır.
Burada hassasiyet önemlidir. Eğer 300 mm’lik bir alet kullanıyorsanız, lambanın uzunluğu ve gücü güç kaynağınıza tam olarak uyumlu olmalıdır. Eğer böyle değilse, sıcak noktalar oluşur. Ayrıca, yeterli soğutma fanları olmadan aşırı güç kullanılırsa, filamanlar çok erken yanacaktır.
Değiştirme ve koruma
Standart konektörler kullanıyoruz; bu sayede lambalar kolayca değiştirilebilir. Yanmış bir lambayı değiştirmek için tüm sistemleri yeniden kurmanıza gerek kalmaz.
Ancak bir uyarı: Yüksek saflıkta kuvars, cilt yağlarına karşı oldukça hassastır. Bir parmak izi bile stres noktası oluşturabilir. Lütfen bu lambaları yerleştirirken parmak izi bırakmayan eldivenler kullanın. Eğer kuvarsa yağ bulaşırsa, filamanlar henüz tamamen yanmadan önce bozulur. Bu küçük adım, birçok sorunu önler.