เครื่องทำความร้อนสำหรับบรรจุวัตถุในระดับเวเฟอร์

Sat, 20 Jun 2026 02:39:49 +0800

ในกระบวนการ FO-WLP ความเสถียรของ RDL เริ่มต้นขึ้นตั้งแต่ขั้นตอนการอบชิ้นส่วน หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 1°C ในขั้นตอนการอบชิ้นส่วนด้วยโฟโตรีซิสต์ หรือการอบผงฉนวน ก็จะส่งผลให้ความกว้างของเส้นที่ใช้ในการพิมพ์เปลี่ยนแปลง และอาจทำให้เกิดช่องว่างในชิ้นส่วน ซึ่งจะส่งผลเสียต่อชิ้นส่วนที่ผ่านกระบวนการพิมพ์มาแล้ว เราจึงออกแบบเครื่องอบที่สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ได้ตลอดกระบวนการผลิต

สิ่งสำคัญทางเทคนิคก็คือ เครื่องนี้ใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมอุปกรณ์ปล่อยรังสีแบบควอตซ์-ฮาโลเจน ทำให้สามารถปรับอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการเกินค่าที่กำหนด ในพื้นที่ 300 มม. อุณหภูมิจะคงที่อยู่ที่ ±0.1°C ในอุณหภูมิการอบปกติ (90–120°C) และ ±0.1°C ในอุณหภูมิการอบที่สูงขึ้น (100–150°C) ความสามารถในการทำงานร่วมกับห้องปลอดฝุ่นชนิด Class 1–100 นั้นมาจากการใช้วัสดุสแตนเลสชนิด 316L และฉนวนชนิด PVDF นอกจากนี้ยังมีระบบตรวจจับฝุ่นแบบ real-time เพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ตัวควบคุมจะคอยรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตลอดเวลา โดยมีความคลาดเคลื่อนอยู่ที่ ±0.2°C ระหว่างชุดผลิตต่างๆ และระหว่างวันต่างๆ

กระบวนการ FO-WLP มีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิอย่างมาก เครื่องอบนี้จึงช่วยรักษาข้อจำกัดดังกล่าวไว้ โดยสามารถรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในช่วงที่กำหนดได้ แม้ในกรณีที่ต้องทำงานต่อเนื่อง 24 ชั่วโมงต่อวัน 7 วันต่อสัปดาห์

คาดว่าจะไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่ได้วางแผนไว้เลย โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 10,000 ชั่วโมง ผลลัพธ์ก็คือ มีการปรับแก้ชิ้นส่วนน้อยลง มีการควบคุมขนาดของชิ้นส่วนได้อย่างมีเสถียรภาพ และมีเวลาในการผลิตที่แน่นอน นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็น้อยลง เนื่องจากมีมวลความร้อนต่ำ และอุปกรณ์ปล่อยรังสีมีประสิทธิภาพสูง ดังนั้นต้นทุนการผลิตจึงลดลง โดยไม่ส่งผลกระทบต่อความแม่นยำของอุณหภูมิ

การติดตั้งนั้นก็เพียงแค่ต้องให้อุปกรณ์ต่างๆ มีอินเตอร์เฟซที่เข้ากันได้ และมีระบบระบายอากาศที่มีประสิทธิภาพ เพื่อรักษาความดันในห้องปลอดฝุ่นไว้

คุณจะได้ประสิทธิภาพสูงสุดเมื่อเครื่องอบอยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องภายในขอบเขต ±1 มม. จากจุดที่กำหนด และเส้นทางการระบายความร้อนไม่มีสิ่งกีดขวาง คาดว่าจะใช้เวลาเพียงหนึ่งวันในการติดตั้ง และอีกเล็กน้อยสำหรับการทดสอบเพื่อให้แน่ใจว่าทุกอย่างทำงานได้อย่างถูกต้อง

ออก on Gentle Home Infrared Warmth

เครื่องทำความร้อนสำหรับบรรจุวัตถุในระดับเวเฟอร์