บนสายการผลิตจอแสดงผลแบบยืดหยุ่น ขั้นตอนการอบแห้งโพสท์โฟโต้เรซิสต์ไม่ได้เป็นเพียงการหยุดพักธรรมดาเท่านั้น แต่เป็นจุดควบคุมที่ชัดเจนและเรียบง่าย...

On the fab floor, a 2°C swing during photoresist bake is enough to shift a linewidth by nanometers. A single particle during drying can kill a lot....